掩模板夹持机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种掩模板夹持机构，包括机械手及推杆，其中机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，而在该夹持区域前方两侧具有两对称的凸台，所述夹持区域后方中部设置能够前后移动的推杆，通过所述凸台和所述推杆形成三角形的施力点，使得夹持十分稳固，该掩模板夹持机构不需要真空传感器及吸附装置，且结构紧凑，所以不仅结构小巧，而且降低了成本，安装方便；另外，在所述推杆侧面设置接近传感器，来检测推杆推进的状况，从而反应所述掩模板夹持机构的夹持状态，避免由于无法及时识别机械手中掩模板的状态而出现误判或其他弊端。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种掩模板夹持机构，特别涉及一种光刻技术中的掩模板 夹持机构。
技术介绍
近代半导体科技发展迅速，其中光学光刻技术扮演了重要的角色。光学光 刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的掩 模，利用曝光原理，使光源通过掩冲錄影至硅晶片上，可曝光显示特定的图案。在咏光设备中，掩模板或硅片等物料传输系统是非常重要的分系统。其中， 掩模板传输系统主要用于将指定的掩模板从掩模板存储机构中取出，平稳、安 全、并且无污染地运输到掩模台分系统或曝光分系统中，并在此过程中进行掩 模板标记的对准，为曝光做准备。整个过程满足高速、高精度和高可靠性的要 求。光刻设备已经能够在晶片上形成越来越小的图形，而在光刻设备中，掩模 板夹持机构则是对光刻过程中掩模板操作的重要装置。在掩模板传输系统中，机械手是夹持、固定和承载掩模板的重要结构。如在公开号为1094827的中国 专利中所述掩才莫板在传输的过程中通常是采用真空吸附的方法固定在传输掩 模板的机械手上。通常情况下，机械手是一个叉形的机械结构，主要通过吸附 结构来吸附掩模板，并且在吸附结构与掩模板接触的中间设置有一个或多个真 空吸附的窗口。在膝光设备中，这种真空吸附的方法往往产生真空气路堵塞或漏气的现象， 比如真空吸附窗口的破损导致真空气路堵塞，掩模板或机械手上存在的颗粒物 使真空吸附处不能紧密地贴合导致漏气等等。这些都会导致真空吸附力下降， 使掩模板不能得到牢固并且可靠的固定，使设备的可靠性降低。另外，若出现上述吸附不牢的状况，使得机械手中可能没有夹持有掩模板，但是系统是无法识别这样的状况的，所以可能造成一些不必要的误判或其他弊有鉴于此，如何提供一种掩模板夹持机构，来减少上述弊端已成为业界亟 待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术所解决的一技术问题在于提供一种掩模板夹持机构，能够牢固、 可靠的固定掩模板。本技术所解决的另一技术问题在于提供一种掩模板夹持机构，不需要 真空传感器及吸附装置，且结构紧凑，所以不仅结构小巧，而且降低了成本， 安装方便。本技术所解决的又一技术问题在于提供一种掩模板夹持机构，能够检 测机械手夹持掩模板的状态并将其显示，避免由于无法及时识别机械手中掩才莫 板的状态而出现误判或其他弊端。为解决上述技术问题，本技术提供了一种掩模板夹持机构，包括机械 手及推杆，其中所述机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，以及在该夹持区域前方两侧对称设置的凸台；而所述推杆设置在所述夹持区域后方中部，能够 前后移动并配合所述凸台将掩才莫板固定在所述夹持区域内。其中，所述凸台为长方体凸起结构；所述推杆前端具有緩冲垫，在对掩模 板进行夹持时起到緩冲作用。所述机械手上固定有一气缸，所述推杆后端与所 述气缸连接，且在该气缸的作用下所述推杆能够在前后方向弹出及收回。所述气缸还通过一气管接头连接至一气管，所述气缸通过气动系统及正压 气体来进行控制。另夕卜，所述掩才莫板夹持机构还包括设于所述推杵侧面的接近传感器，其能够 根据对所述推杆的位置的检测来产生相应的感应信号，从而反应夹持区域内的 掩模板的夹持状况。进一步的，所述接近传感器是两个设于所述推杆两侧并在推杆的移动方向上 相互错开的接近传感器。所述接近传感器安装在固定于所述机械手上的传感器 支架上。所述推杆呈"T"字形结构，且该"T"字形结构较宽的一端到所述接近传感器的距离在接近传感器的检测距离内。本技术的掩模板夹持机构，其机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域， 而在该夹持区域前方两侧具有两对称的凸台，所述夹持区域后方中部设置能够 前后移动的推杆，通过所述凸台以及所述推杆向前方移动，以顶压住放置在所 述夹持区域内的掩模板，而所述凸台和所述推杆形成三角形的施力点，使得夹持十分稳固；另外，在所述推杆侧面设置接近传感器，来检测推杆推进的状况， 从而反应所述掩模板夹持机构的夹持状态。附困说明附图说明图1为本技术的一实施例的掩模板夹持机构在零位状态的示意图。图2为本技术一实施例的掩模板夹持机构在夹持掩模板时的状态示意图。图3为本技术一实施例的掩模板夹持机构在无掩才莫板时的状态示意图。 务朱实施方式以下通过具体实施例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭示的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术也可 通过其他不同的具体实施例加以实施或应用，本说明书中的各项细节亦可基于 不同观点与应用，在不背离本技术的精神下进4亍各种f务饰与变更。本技术中所述掩模板夹持机构，可以应用在光刻设备中，对掩模板进行 相关传输操作。参见图1,本技术的一实施例的掩模板夹持机构在零位状态的示意图， 如图所示，该掩模板夹持机构包括机械手101及推杆104,其中所述机械手IOI 具有夹持所述掩模板112的夹持区域(图中由掩模板112占据的区域)，以及在 该夹持区域前方两侧对称"i殳置的凸台111， 113;而所述推杆104设置在所述夹 持区域后方的中部，能够前后移动并配合所述凸台111, 113将掩模板112夹持 在所述夹持区域内，其中所述凸台111， 113与所述推杆104的前端形成三角形 的施力点，如本实施例中，两凸台111， 113是在所夹持的掩才莫板前方两侧，而 所述推杆104是能够顶压在所述掩模板后方的中心位置，使得夹持更加牢固。另外，在本实施例中，所述掩模板夹持机构还包括气缸105、緩冲垫110、 两个错位设置的接近传感器102， 109以及气管106和气管接头107。上述气缸105可以是薄型气缸，通过例如螺钉的连接件固定在机械手101 上。所述的推杆104是固定(夹持)掩模板的执行机构，即推杆104是活动的， 其与气缸105相连接，在气釭105的作用下可以弹出或收回，从而配合凸台111， 113达到将所述掩才莫板112稳固夹持的效果。所述的緩冲垫IIO是软性塑胶材料， 固定在推杆104的前端部，当推杆104弹出并顶住掩模板112时，緩冲垫110 能够起到緩冲的作用，降低掩模板瞬时受到的作用力，起到保护掩模板112的 作用。所述接近传感器102， 109分别安装在传感器支架103， 108上，传感器 支架103, 108均固定在机械手101上；接近传感器102， 109均与推杆104保 持适当的距离，保证推杆104在接近传感器102， 109的检测距离之内，以保证 检测信号有效地输出。需要说明的是，在其他实施例中，所述接近传感器102， 109可以是一个，其仅设置在所述推杆104—侧，在推杆104上具有距离该接近 传感器不同距离的凹凸结构，从而根据该接近传感器对所述凹凸结构的检测来 反应本技术的掩模板夹持机构的夹持状态。所述的凸台111， 113是位于机械手101端部的两个位置对称的长方体凸起 结构，当推杆104弹出并顶住掩模板112侧面的中点时，掩模板112的另一个 侧面紧靠在凸台111， 113旁，而所述凸台111, 113的内侧，即靠夹持区域的一 侧也可设置緩冲结构，或增加摩擦系数的结构，以增加夹持效果。掩模板通过 推杆104、凸台111和113三点定位，故不会产生歪斜。而所迷气管106和气管 接头107是上述气缸105的配件，提供必要的构件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩模板夹持机构，其特征在于：包括机械手及推杆，其中所述机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，以及在该夹持区域前方两侧对称设置的凸台；而所述推杆设置在所述夹持区域后方中部，能够前后移动并配合所述凸台将掩模板固定在所述夹持区域内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马佳，马喜宝，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]