具有管状环境控制部件的晶圆容器制造技术

一种晶圆容器，利用刚性聚合物管状塔，所述塔具有狭槽和在其中的吸气剂，用于吸收和过滤所述晶圆容器中的湿气和蒸汽。所述塔优选利用容器基部的净化护环，并且在其中可以具有止回阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体（包括空气）的流向。所述塔与所述护环密封地连接。所述塔可以具有以长圆形型式卷绕而形成或者成形为管状的吸气介质片，所述吸气介质布置在所述塔内并且可以具有轴向的延伸。介质可以提供主动的和／或被动的过滤以及具有再充装的能力。用于３００ｍｍ尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器，在容器部的内后部中的左侧和右侧上，通常具有一对凹部。这些凹部优选地用于细长塔，这种塔基本上从底部晶圆位置延伸到顶部晶圆位置。在替换实施方式中，管状形状的吸气材料暴露在前部开口的容器内，而不会像在端部处那样使吸气剂不散开。管状吸气剂的形式优选为被支撑在离散的位置，以最大限度地暴露到内部容器环境。阻挡构件能够选择性地关闭孔。弹性盖可以有助于将管状部件固定在容器部中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有管状环境控制部件的晶圆容器相关申请本申请要求2008年3月13日递交的美国临时申请No.61/036,353的权益，该美 国临时申请整体上通过引用包含于此。
技术介绍
晶圆容器和光罩盒(reticlepod)通常是称为FOUP (前部开口 一体盒)、FOSB (前 部开口传输盒)或者SMIF(标准机械接口 )盒的密封容器。在存储、运输和处理晶圆和 衬底这些材料期间，这些容器提供微环境，以隔离和控制用于制造集成电路的晶圆衬底 周围的环境。这种材料的处理传统地在通常被称为“清洁室”的无微粒环境中实现。然 而，将这种“清洁室”维持在无污染物的状态需要许多注意和努力，特别是在材料的处 理期间。这种微环境的内部气氛可以更容易地控制和维持。经常地，这种容器利用惰性 气体或者清洁的干燥空气(CDA)或者额外的CDA，是可净化的。已经注意到，不仅由 离散粒子而且在晶圆或光罩上发生的起雾而引起这种容器中的光罩的污染。请参见由本 申请的所有人拥有的公布WO 2007/149513A2，该公布通过引用包含于此，包括在本申 请的附录中。这种起雾也可能在晶圆容器中的晶圆上发生，并且对晶圆有害，参见通过 引用包含于此的美国专利No.5,346,518。另外，由本申请的申请人拥有的相关的美国专利 No.6,042,651公开了在底部开口的SMIF盒和前部开口的晶圆容器中使用带喷嘴的塔，该 前部开口的晶圆容器使用晶圆架组件作为净化出口。这种结构相关联的问题和这种结构 的最佳使用仍没有得到充分的处理。例如，在衬底容器中使用干燥剂和蒸汽吸收剂，典型地，在清洗这种衬底容器 之前，需要移除或者拆卸干燥剂和蒸汽吸收剂，因为所使用的流体可能毁坏用于过滤和/ 或蒸汽吸收的介质。此外，由于用于输送净化气体的区域封闭，除了介质物质之外，垂 直设置于衬底容器中的净化开口是难以清洁和干燥的。在不拆卸和移除介质和净化部件 的情况下，有助于这种衬底容器的清洁的手段将是非常有利的。特别地，诸如美国专利 No.6,042,651公开的独立式塔在清洁过程中是有问题的。此外，这种塔由于它们的传统布 置而遭受移动和潜在地移位，在该传统布置中，它们可能不注意地接触而它们的连接仅 在基板容器的基部。更好的布置和连接方法和结构将是有利的，特别是不依赖于延伸通 过壁或者其它障碍的孔或者紧固件的方法，所述壁或其它障碍将容器的被围起来的内部 与外部分离开。在前部开口盒中使用离散塔、使用一个以上的排放塔、以及排放塔或管状环境 控制部件的最佳放置和固定，在这之前还没有被充分地考虑、优化，以令人满意地处理 可靠性、起雾、污染和粒子控制，以及前部开口的大直径晶圆容器的清洁事物。当从 300mm晶圆向450mm晶圆过渡时，这些方面的改善将更加重要。
技术实现思路
在本专利技术的实施方式中，晶圆容器包括管状环境控制部件，该管状环境控制部 件构造有与晶圆容器的内部连通的开放内部和狭槽。管状部件中的一个或两个可以策略 地放置在晶圆容器的后部转角或隔室中，并且可以连接到晶圆容器的底部的净化入口。 某些实施方式除吸收材料之外或者作为吸收材料的替换，可以具有过滤体。在某一实施 方式中，另外的净化入口开口可以用于全部的三个净化入口。管状部件或净化开口可以 在其内具有止回阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体(包括空气)的流向。净化开 口可以利用弹性护环和密封地连接在其上的管状部件。管状部件可以具有以长圆形型式 卷绕形成或者成形为管状并置于所述塔内的吸气介质片。介质可以提供主动的和/或被 动的过滤以及能够被再充装。用于300mm尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器的一种构造，在容器部的内后部 中的左侧和右侧上具有一对隔室。这些隔室反映由晶圆容器的后壁上的一对垂直的外部 的突部形成的内部结构，当容器部向后转动90度时，所述外部的突部用作脚或者用于放 置的特征。某些实施方式的特征和优点是利用这些隔室来全部地或者部分地包含细长管 状环境控制部件，所述细长管状环境控制部件基本上从底部晶圆位置延伸到顶部晶圆位 置，或者从容器部的底部延伸到顶部。在一个实施方式中，管状的吸气材料以最小的吸 气剂容量在一个或者两个隔室中暴露在前部开口的容器内，而不是主动净化系统的一部 分。在另一实施方式中，构造成净化塔的管状环境控制部件可以放置在一个或两个隔室 中。所述塔可以构造成可以容纳介质的容纳部。介质可以是过滤介质和/或吸收介质。在特定的实施方式中，管状环境控制部件具有孔，要么用于使净化气体流入容 器部的开放内部，要么用于允许部件中的吸收介质吸收蒸汽，包括来自容器部的内部的 湿气。特征和优点是，这种孔可以选择性地阻断以停止管状部件的内部与晶圆容器的开 放内部之间的连通。这对清洗容器非常有利，使得能够保护管状部件的过滤体、吸气剂 或其它成分免受清洗流体的影响，而无需移除所述部件。可以由密封孔的弹性条，或者 由能够覆盖和暴露孔的刚性可滑动连接构件来阻断。此外，这种选择性的阻挡能够可调 整，以改变容器部的内部和管状部件的内部之间的开口的尺寸。某些实施方式的特征和优点在于，具有孔的管状部件可以从连接到其上的净化 入口水平地偏离。这提供相对于晶圆的间隙。此外，将排放孔布置在管状部件背面的凹 部或隔室中，相信为净化气体提供更好的流体流特性。将管状部件布置在背面凹部中提 供的优点是，保护净化部件免受碰撞或无意的接触。某些实施方式的特征和优点是将环境控制部件连接在后方隔室中。这些隔室反 映由晶圆容器的后壁上的一对垂直的外部的突部形成的内部结构，当容器部向后转动90 度时，所述外部的突部用作脚或者用于放置的特征。这些内部隔室具有通常向后会聚的 壁。在一特定实施方式中，柔软的弹性连接构件固定到管状环境控制部件的顶部和容器 部的聚合物壁之间。这种弹性连接构件确保塔在适当位置，而孔不通过壁，最佳地利用 聚碳酸酯容器部壁与弹性材料之间的高磨擦系数。所述构件可以成形为盖，所述盖进一 步提供将细长部件固定在一起的有利功能，所述细长部件包括管状环境控制部件的容纳 部。管状部件可以在两端部具有这种构件，利用高磨擦系统和弹性构件的压缩以将所述 管状环境控制部件全部地或部分地保持在后方隔室中。在另一实施方式中，由金属或刚性聚合物形成的刚性托架可以具有弹簧齿，以将托架楔入隔室的相对壁之间，其中所述 齿戳入容器部壁的表面中。这些连接方法和结构的特点和优点在于，利用用于连接部件 配合的相对壁进行连接，而没有延伸通过晶圆容器的壁的单独结构或紧固件。因此，晶 圆容器可以容易地翻新，而对产品不进行变型或减少变型。利用管状吸气介质的实施方式的特征和优点在于，相对大面积的介质有效地暴 露到晶圆容器中的有限的区域内。此外，后方隔室对于没有介质并且用于纯净化的管状 部件也很适用。某些实施方式的另外的特征和优点在于，净化气体通过塔排出，管状吸气介质 可以有效地定期再充装，当其内的环境为静态时。这里的实施方式的另外的特征和优点在于，在现有的300mm晶圆容器中适用本 专利技术需要在这些容器中进行最少的改变。另外的特征和优点在于，本专利技术非常适于较大 的晶圆容器。附图说明图1是根据本专利技术的实施方式的前部开口的晶圆容器的透视图；图2是图1的晶圆容器的仰视图；图3是向容器部的不同实施方式的开放的前部内看去的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种前部开口的晶圆容器，用于３００ｍｍ以及更大的晶圆，所述容器包括：　　容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部中限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放的前部的门框，其中，在所述后侧的所述容器部壁具有向内延伸的凹部，所述凹部从所述容器部的所述顶部延伸到所述容器部的所述底部，在所述凹部的两旁侧，所述壳体的突出部限定了一对直立的脚，用于当所述晶圆容器向后转动而所述开口前部面朝上时，放置所述晶圆容器，所述脚限定了多个内部隔室，　　每个隔室，具有一对相对的侧壁部，后壁部，两个内部垂直转角，顶壁部和底壁部；　　门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；　　至少一个细长管状环境控制部件，固定在所述多个隔室中的一个内并且与所述一对侧壁部和所述后壁部间隔开，所述细长管状环境控制部件具有一长度，所述长度基本上以所述顶壁部和所述底壁部之间的距离延伸。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯A沃森，约翰伯恩斯，马丁L福布斯，马修A富勒，马克V史密斯，
申请(专利权)人：安格斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]