光学品级的表面加工工具制造技术

本发明专利技术涉及一种表面加工的工具，该表面加工工具包括：刚性支持体（１１），连接至此刚性支持体的可弹性压缩的界面体（１２），适合于压靠工作表面（３０）的柔性缓冲体（１３），压靠并部分覆盖该界面体（１２）的侧表面（１８）的柔性环箍（１４），该界面体（１２）的所述侧表面（１８）的环形部分（２１）在所述环箍（１４）和所述支持体（１１）之间是自由的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对于例如眼镜玻璃的或照相设备镜头的或用来观察远处物体的仪器的表面，或者对半导体基底的表面进行光学品级的表面加工。 所谓"表面加工"指的是旨在改变预先成型表面状态的各种操作。这特别涉及旨在改变(降低或增大)表面粗糙度和/或降低其起伏的抛光、精磨或磨砂。
技术介绍
特别是通过日本专利申请2000-317， 797，通过法国专利申请2 834 662—对应于美国专利申请2005/0101235—和通过法国专利申请2 857 610—对应于美国专利申请2006/0154581，已经知道了一种光学表面的表面加工工具，该表面加工工具包括具有横向端部的刚性支持体；可弹性压縮的界面体，该可弹性压縮的界面体连接至该刚性支持体，并具有第一横向端部表面、第二横向端部表面和从第一横向端部表面的周边延伸到第二横向端部表面的周边的侧表面，该界面体的所述第一横向端部表面压靠并覆盖刚性支持体的所述端部表面；以及柔性缓冲体，该柔性缓冲体适合于压靠光学表面，且背对并正对该界面体的第二横向端部表面地压靠并至少部分覆盖该刚性支持体的所述第二横向端部表面。 为了降低光学表面的粗糙度，使该加工工具与该光学表面接触，同时在该光学表面上保持该加工工具的足够的压力，以通过界面体的变形使缓冲体贴合光学表面的形状。 在光学表面上喷洒一种流体的同时，驱动该光学表面使之相对于该加工工具旋转(或相互旋转)并且用该流体进行清理。 —般说来，驱动光学表面旋转，该光学表面对工具的摩擦力足够驱动该工具一起旋转。 表面加工的操作需要磨料，该磨料可包含在缓冲体或者流体中。 在表面加工的过程中，可弹性压縮的界面体可以补偿在该工具的支持体的端部表面和光学表面之间的曲率差别。 由此工具获得的结果一般说来还是满意的，但其很难避免某些外观的缺陷，特别是橘皮效应(英语为"orange skin")和巻曲效应(英语为"cottonmouton")。 为了克服这些外观缺陷，已经建议使柔性缓冲体的直径大于界面体的直径，从而使该缓冲体具有在横向超出界面体的环形部分。 这样的工具改善了表面的外观，但在某些情况下，它还是存在着这种外观缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种就减少外观缺陷而言性能特别良好的表面加工工具。 为此，提出一种具有光学品级的表面加工工具，该表面加工工具包括具有横向端部表面的刚性支持体；可弹性压縮的界面体，该可弹性压縮的界面体连接至该刚性支持体，并且具有第一横向端部表面、第二横向端部表面和从第一端部表面的周边延伸到第二端部表面的周边的侧表面，该可弹性压縮的界面体的所述第一端部表面压靠并覆盖该刚性支持体的所述端部表面；以及柔性缓冲体，该柔性缓冲体适合于压靠工作表面，且背对并正对所 述刚性支持体的所述端部表面地压靠并至少部分覆盖所述界面体的所述第二横向端部表 面，该表面加工工具的特征在于，所述柔性环箍压靠并部分覆盖界面体的侧表面，所述柔性 环箍从所述缓冲体的周边一直延伸到自由端部，所述界面体的所述侧表面的环形部分在所 述环箍的所述自由端部和所述界面体的第一端部表面之间是自由的。 该柔性环箍背对着该界面体的侧面延伸部分。 因此，当该工具受到朝向工作面施加的应力时，柔性环箍就制约此压力，使其以比较均匀的方式分布在表面加工工具下面，特别是在避免出现峰值的边缘附近。 该柔性环箍还限制界面体由于工具相对于工作表面移动的应力而造成的变形。 然而，界面体的侧表面的自由环形部分能够在此界面体上保持足够的变形能力，以使缓冲体能够贴合工作表面的形状。 该环箍的柔软特性也参与了此变形能力，然而环箍在缓冲体的周边和缓冲体的侧 表面的环形自由部分之间的定位特别有利于限制当该工具受到朝向工作表面施加的力时 由缓冲体产生的侧面隆起，该侧面隆起比该工具的直径的加大更大。 因此，按照本专利技术的工具一般具有比不包括柔性环箍的现有技术的工具更好的性 能。 在所有条件都相同的情况下，这能够得到更好的表面状态，特别是降低了橘皮效 应和巻曲效应。 按照本专利技术的工具，在所有条件都相同的情况下，还能够使用更为有效的表面加 工参数，特别是增大了压力和速度。 按照优选的特征，所述环箍与缓冲体制成一单体件。 因此，特别简单而方便地得到按照本专利技术的工具，而在缓冲体和环箍之间存在有利于该工具的耐用性和进行的表面加工的品级的连续性。 出于同样的原因，优选 _所述环箍由在缓冲体的周边通过折叠而折起的边缘形成； -所述环箍具有指向所述缓冲体的轮廓为V形的凹槽；-该工具包括杯形的壳体，该杯形的壳体的底壁形成所述缓冲体，而该杯形的壳体 的侧壁形成所述环箍；-所述界面体是由模塑在所述杯形的壳体上的材料制造的；-所述环箍粘接在所述界面体上；-所述环箍是由模塑在所述界面体上的材料制造的；-所述界面体包括由可弹性压縮的材料制造的板，但所述板的刚性大于形成所述 界面体的其余部分的主体的刚性，所述板间置于所述缓冲体和所述主体之间； -所述主体具有包围着所述板的周边部分；-所述界面体的所述周边部分在所述第二端部表面和所述侧表面之间具有钝边。 按照另一个优选的特征，对于所得到结果的品级，在所述环箍的所述端部和所述 第一端部表面之间的距离为该界面体的所述第一端部表面和所述第二端部表面之间距离 的30%至70%。 在优选的第一实施方式中，所述支持体、所述界面体和所述缓冲体具有相近的直5 在优选的第二实施方式中，所述界面体和所述缓冲体具有比所述支持体的直径更 大的相近的直径，所述工具还包括布置在所述刚性支持体和所述界面体的周边之间的弹性 回动部件。附图说明 现将参照附图，通过详细描述以下仅作为说明给出的且非限制性的优选的实施例 继续阐述本专利技术，其中 图1是按照本专利技术的表面加工工具的第一实施方式的正视图； 图2是与图1相类似的、但为剖开的视图； 图3和图4是与图2相类似的视图，但示出当工具分别受到沿着工作表面的移动的应力，和当工具受到朝向工作表面施加的应力时该工具如何变形； 图5和图6是分别与图3和图4相类似的、但为现有技术的工具的视图； 图7和图8是分别与图2和图6相类似的、按照本专利技术的工具的第二实施方式的视图； 图9和图10是与图7相类似的、按照本专利技术的工具的第一实施方式和第二实施方 式的变型的视图； 图11是与图1相类似的、按照本专利技术的工具的第一实施方式的变型的视图； 图12以分离的方式示出该工具的变型所包括的壳体，该壳体用于形成柔性缓冲 体和柔性环箍。具体实施例方式在图1-图4中所示的工具IO，包括刚性支持体11、可弹性压縮的界面体12、柔性 缓冲体13和柔性环箍14。 支持体11，更通常而言是工具10，整体是回转对称的柱形，并且具有标注为X的对 称轴线，该对称轴线限定所谓的纵向。 支持体11具有端部表面15。 界面体12具有第一端部表面16、第二端部表面17和从第一端部表面16的周边向第二端部表面17的周边延伸的侧表面18。 端部表面15是横向延伸的，并且在此是平面的。 在没有应力时，界面体12和缓冲体13的形状一般为直径与表面15相同的盘形， 界面体12的厚度大于缓冲体13的厚度。 界面体12通过其第一端部表面16压靠并覆盖支持体11的端部表面15。 缓冲体13压靠并覆盖界面体12的表面17。 因此，支持体11和本文档来自技高网...

【技术保护点】
光学品级的表面加工工具，所述表面加工工具包括：具有横向端部表面（１５、１１５）的刚性支持体（１１、１１１）；可弹性压缩的界面体（１２，１１２），所述可弹性压缩的界面体连接至所述刚性支持体（１１、１１１）并且具有第一横向端部表面（１６、１１６）、第二横向端部表面（１７、１１７）和从所述第一横向端部表面（１６、１１６）的周边延伸到所述第二横向端部表面（１７、１１７）的周边的侧表面（１８、１１８），所述可弹性压缩的界面体（１２、１１２）的所述第一横向端部表面（１６、１１６）压靠并覆盖所述刚性支持体（１１、１１１）的所述横向端部表面（１５、１１５）；以及柔性缓冲体（１３、１１３），所述柔性缓冲体适合于压靠工作表面（３０），且背对并正对所述刚性支持体（１１，１１１）的所述横向端部表面（１５，１１５）地压靠并至少部分覆盖所述界面体（１２、１１２）的所述第二横向端部表面（１７、１１７），其特征在于，柔性的环箍（１４、１１４）压靠并部分覆盖所述界面体的侧表面（１８、１１８），所述柔性的环箍（１４、１１４）从所述缓冲体（１３、１１３）的周边一直延伸到自由端部（２０、１２０），所述界面体（１２、１１２）的所述侧表面（１８、１１８）的环形部分（２１、１２１）在所述环箍（１４、１１４）的所述自由端部（２０、１２０）和所述界面体（１２、１１２）的第一横向端部表面（１６、１１６）之间是自由的。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J斯特凡娜，
申请(专利权)人：埃西勒国际通用光学公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]