孔隙设备及微粒子测定系统技术方案

本发明专利技术提供一种高可靠性的孔隙设备。孔隙设备(100)能够收容孔隙片(102)。躯干(120)通过孔隙片(102)将内部划分成第一空间(122)与第二空间(124)，能够填充电解液(2)。在基板(110)形成有与躯干(120)连接且至少一部分向躯干(120)的内部空间露出的电极(106、108)。电极(106、108)分别包括：第一金属层(132)，其形成在基板(110)上；碳阻隔层(134)，其在向躯干(120)的内部空间(122、124)露出的部分，形成于比第一金属层(132)靠上的层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及孔隙设备。

技术介绍

1、已知有被称为电阻法(库尔特原理)的粒度分布测定法。在该测定法中，使含有粒子的电解液通过被称为纳米孔隙的细孔。在粒子通过细孔时，细孔中的电解液减少与粒子的体积相应的量，使细孔的电阻增加。因此，通过测定细孔的电阻，能够测定粒子的体积(即粒径)。

2、图1是使用了电阻法的微粒子测定系统1r的框图。微粒子测定系统1r具备孔隙设备100r、计测装置200r及数据处理装置300。

3、孔隙设备100r的内部充满含有检测对象的粒子4的电解液2。孔隙设备100r的内部由孔隙片102分隔成两个空间，在两个空间内设置电极106和电极108。当在电极106与电极108之间产生电位差时，离子电流在电极间流动，而且由于电泳而粒子4经由细孔104从一方的空间向另一方的空间移动。

4、计测装置200r使电极对106、108之间产生电位差，并取得与电极对之间的电阻值rp存在关联的信息。计测装置200r包括跨阻放大器210、电压源220、数字转换器230。电压源220使电极对106、108之间产生电位差vb。该电位本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种孔隙设备，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的孔隙设备，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的孔隙设备，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的孔隙设备，其特征在于，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的孔隙设备，其特征在于，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的孔隙设备，其特征在于，

7.一种微粒子测定系统，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种孔隙设备，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的孔隙设备，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的孔隙设备，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的孔隙设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：田口星人，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：