一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置和液冷方法制造方法及图纸

本申请公开了一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置和液冷方法，控制器内设置有控制电路板，控制电路板上设有若干个发热元件。该磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置包括：冷却板，其用于设置于分子泵与控制器之间；和，冷却管，冷却管包括：位于冷却板的内部的冷却段管路；和，位于冷却板的外部的进水连接段管路和出水连接段管路，进水连接段管路和出水连接段管路连接于冷却段管路的两端；其中，冷却段管路的延伸轨迹构造为预设形状，以使得冷却段管路至少能够靠近或覆盖各所述发热元件的位置。本发明专利技术的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置能够提高液冷装置的冷却、散热效率，提高冷却管的结构强度，减少液冷装置的失效问题的发生。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及磁悬浮分子泵冷却。更具体地，本专利技术涉及一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置和液冷方法。

技术介绍

1、磁悬浮分子泵在运行过程中，需要保证控制器内的电子元器件温度维持在0℃-70℃之间。控制器的热源分为两部分，一部分为控制器内部的电子元器件的自发热，一部分来自泵体，泵体在运行过程中通常会保持在70℃。控制器是全封闭式的结构，因此需要在控制器与泵体之间设置一块冷却板，以用于对控制器进行降温。

2、然而，现有技术中的冷却板在具体使用时，常会产生冷却降温效果不均匀的问题，例如，控制器不发热的地方也同时进行冷却降温，造成资源的浪费；或，因发热的电子元器件甚至过于分散而造成局部降温不理想。

技术实现思路

1、为了解决如上所提到的一个或多个技术问题，本专利技术提供了一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置和液冷方法，使其能够提高液冷装置的冷却、散热效率，提高冷却管的结构强度，减少液冷装置的失效问题的发生。

2、根据本专利技术的第一方面，其提供了一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，所述控制器内设置有控制电路板，所述控制电路板上设有若干个发热元件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，其特征在于，所述冷却段管路包括异形管路段和连接于所述异形管路段的两端的直管段，两个直管段与所述进水连接段管路和所述出水连接段管路相连接，其中，所述异形管路段和所述直管段的预设形状与各所述发热元件的位置连线相匹配。

3.根据权利要求1或2所述的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，其特征在于，还包括回水管，所述回水管设置于所述冷却板内，所述回水管包括：位于所述冷却板内部的回水段管路；和，位于所...

【技术特征摘要】

1.一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，所述控制器内设置有控制电路板，所述控制电路板上设有若干个发热元件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，其特征在于，所述冷却段管路包括异形管路段和连接于所述异形管路段的两端的直管段，两个直管段与所述进水连接段管路和所述出水连接段管路相连接，其中，所述异形管路段和所述直管段的预设形状与各所述发热元件的位置连线相匹配。

3.根据权利要求1或2所述的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，其特征在于，还包括回水管，所述回水管设置于所述冷却板内，所述回水管包括：位于所述冷却板内部的回水段管路；和，位于所述冷却板外部的回水进水段管路和回水出水段管路，所述回水进水段管路和所述回水出水段管路连接于所述回水段管路的两端；其中，所述回水管构造为直管，所述进水连接段管路与所述回水出水段管路并列设置为同一侧，并与外部循环水源相连接；所述出水连接段管路与所述回水进水段管路并列设置为同一侧且相连通。

4.根据权利要求3所述的磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置，其特征在于，还包括u型管，所述u型管通过卡套接头连接于所述出水连接段管路与所述回水进水段管路。

5.根据权利要求3所述的磁悬浮分子...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，徐荣辉，刘强，温福强，郑惠曦，孙灵豪，罗珂，王鹏，李三锋，王少伯，宋铠钰，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：