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本申请公开了一种磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置和液冷方法，控制器内设置有控制电路板，控制电路板上设有若干个发热元件。该磁悬浮分子泵控制器用的液冷装置包括：冷却板，其用于设置于分子泵与控制器之间；和，冷却管，冷却管包括：位于冷却板的内部的冷却...
该专利属于北京中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科九微科技有限公司授权不得商用。

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