一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及纳米压印光刻技术领域，具体是一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置，包括夹持机构、直线升降模块、基底吸盘、翻转轴承及脱模控制机构。夹持机构通过真空吸附固定模板；直线升降模块控制模板与基底的精密间距，翻转轴承提供0°‑15°倾角转动自由度，脱模控制机构通过凸轮将伺服电机的旋转运动转化为模板的线性倾斜位移，结合力传感器实时监测脱模力并动态调控分离速度。本装置还设有气体喷射模块，在脱模界面分离至50%面积时喷射惰性气体形成气膜辅助分离。本发明专利技术通过气压辅助与可控倾角脱模的结合，显著降低模板损伤风险，提高脱模精度与良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及纳米压印光刻，具体是一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置。

技术介绍

1、纳米压印作为一种物理接触式的加工技术，在模具和压印胶接触和分离的过程中都容易引入缺陷，比如颗粒、粘胶、气泡等缺陷。

2、传统的纳米压印设备常采用机械分离法如垂直剥离，模板与基底保持90°快速分离，依赖高精度位移控制系统控制分离速度，难度较大，易产生脱胶现象，且对模板的损伤不可控；其次还采用热辅助脱模，通过加热模板（80-120℃）或基底，利用材料热膨胀系数差异实现界面分离，这对材料的要求较高，且降低界面黏附力大小未知，无法准确控制脱模。

3、因此，希望设计出一种气压设备脱模工艺的新方法，减小对模板的损伤，突破模板寿命限制。

4、现有技术方案：①cn116430670a“一种纳米压印脱模装置及方法”专利。该专利技术公开的纳米压印脱模装置，通过上部真空吸附装置和下部真空吸附装置的设置，配合上部真空吸附装置内的用于调节真空区域的活塞结构，实现纳米压印脱模；通过不断进气调节腔体内真空压力，会使产品表面和压印印章表面受力均匀，灵活的掌控脱模进度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，真空吸附接口夹持力≥500 N，同时所述直线轴承（2）升降行程0-100 mm，定位精度±1 μm，所述基底吸盘（4）吸附压力-90 kPa至-100kPa，所述翻转轴承（5），提供0°-15°倾角转动自由度，所述翻转轴承（5）为自润滑角接触轴承。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹持机构（1）内置温度传感器，通过热变形补偿算法修正定位误差。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述凸轮（61）轮廓满足升程方程：h(ϕ)=R*(1...

【技术特征摘要】

1.一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，真空吸附接口夹持力≥500 n，同时所述直线轴承（2）升降行程0-100 mm，定位精度±1 μm，所述基底吸盘（4）吸附压力-90 kpa至-100kpa，所述翻转轴承（5），提供0°-15°倾角转动自由度，所述翻转轴承（5）为自润滑角接触轴承。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹持机构（1）内置温度传感器，通过热变形补偿算法修正定位误差。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述凸轮（61）轮廓满足升程方程：h(ϕ)=r*(1−cosϕ)，0≤ϕ≤90°，其中，r为基圆半径，ϕ为转角；

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述伺服电机（62）为闭环步进电机，扭矩0.2-2....

【专利技术属性】
技术研发人员：邓萌萌，
申请(专利权)人：璞璘科技杭州有限公司，
类型：发明
国别省市：