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本发明涉及纳米压印光刻技术领域，具体是一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置，包括夹持机构、直线升降模块、基底吸盘、翻转轴承及脱模控制机构。夹持机构通过真空吸附固定模板；直线升降模块控制模板与基底的精密间距，翻转轴承提供0°‑15°倾角转动自...
该专利属于璞璘科技（杭州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过璞璘科技（杭州）有限公司授权不得商用。

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