加热装置及单晶炉制造方法及图纸

技术编号:46620874 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-14 21:15
本申请涉及单晶硅制造技术领域,尤其是涉及一种加热装置及单晶炉,加热装置包括:底部加热部以及侧部加热部;其中,所述底部加热部与所述侧部加热部相连接,并且围设成内部中空且沿着预设方向顶部开口的碗状结构。本申请提供的加热装置,增设了侧部加热部,侧部加热部离锅托更近,这样当其不加热时,其能够将锅托以及锅帮底部所辐射的热量更多地传导走,快速降低石英坩埚下部分的温度,更有利于降低单晶硅内部的氧含量,而且本加热装置呈碗状,当其加热时,能够积聚热量,有利于缩短熔料的时间。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及单晶硅制造,尤其是涉及一种加热装置及单晶炉


技术介绍

1、目前,随着“碳达峰、碳中和”背景下光伏产业的快速发展,大直径n型单晶硅的生长将成为未来几年的主流技术。在生产过程中拉晶阶段,上部主加热器是开启的,下部底加热器是关闭的,所以底部加热器相对于上部主加热器来说是凉的,它会无形之间带走埚托下部和硅溶液部分热量,降低坩埚下半部分温度,减弱硅液与石英坩埚的反应程度,进而降低单晶硅内部的含氧量,但是,目前主流太阳能硅片厂都是使用片状蛇型底部加热器,其仅与埚托的底部接触,导热效果差,进而导致单晶硅内部的含氧量高,并且这种底部加热器在熔料阶段,其热量比较分散,导致熔料时间长。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种加热装置及单晶炉,在一定程度上解决了现有技术中存在的单晶炉内的底部一般采用片状蛇型底部加热器,其仅与坩埚的锅托接触,导热效果差,进而导致单晶硅内部的含氧量高,并且这种底部加热器在熔料阶段,其热量比较分散,导致熔料时间长的技术问题。

2、本申请提供了一种加热装置,包括:底部加热部以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加热装置,其特征在于,包括:底部加热部以及侧部加热部;其中,所述底部加热部与所述侧部加热部相连接,并且围设成内部中空且沿着预设方向顶部开口的碗状结构;

2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述侧部加热部的数量为多个,且沿着所述底部加热部的周向边缘顺次间隔设置。

3.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述底部加热部形成有贯穿其内侧以及外侧的避让通孔;所述底部加热部形成有贯穿其内侧以及外侧的底部切口,且所述底部切口的两端分别与所述避让通孔以及所述侧部切口相连通。

4.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述底部加热部形成有贯...

【技术特征摘要】

1.一种加热装置,其特征在于,包括:底部加热部以及侧部加热部;其中,所述底部加热部与所述侧部加热部相连接,并且围设成内部中空且沿着预设方向顶部开口的碗状结构;

2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述侧部加热部的数量为多个,且沿着所述底部加热部的周向边缘顺次间隔设置。

3.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述底部加热部形成有贯穿其内侧以及外侧的避让通孔;所述底部加热部形成有贯穿其内侧以及外侧的底部切口,且所述底部切口的两端分别与所述避让通孔以及所述侧部切口相连通。

4.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述底部加热部形成有贯穿其内侧以及外侧的避让缺口,且所述避让缺口延伸并贯穿于所述底部加热部的外周边缘。

5.根据权利要求4所述的加热装置,其特征在于,所述底部加热部...

【专利技术属性】
技术研发人员:张先琴徐耀乔乐
申请(专利权)人:四川高景太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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