一种反应室制造技术

本技术提供了一种反应室，包括管体、载物台、驱动组件和传动件，管体用于形成反应室的反应腔，载物台转动设置于反应腔内，驱动组件设置于反应腔外，并通过传动件与载物台驱动连接，其中，管体的侧壁上设置有连通反应腔内部和反应腔外部的传动通道，以使得传动件能够贯穿管体的侧壁，且传动通道上设置有密封结构，用以保证反应腔的密闭性；使用上述反应室进行碳化硅外延生长时，载物台能够在驱动组件的驱动下转动，以保证反应均匀，且整个生长过程中，无需在反应腔内通入其他气体进而能够保证产品的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学气相沉积，具体涉及一种反应室。

技术介绍

1、碳化硅外延工艺中，在工艺气体通过时产品需要旋转来保证反应均匀，现有技术中为达到产品旋转的目标，在进气口单独增加一路惰性气体使托盘托起并开斜插达到旋转的效果；同时为了方便取出生长外延层的基片，一般需要进入反应室的机械手存在z轴的行程；此外，上述使产品旋转的方式会导致反应室内除工艺气体外增加惰性气体，在工艺阶段需要预测惰性气体的流量和压力来调整工艺参数，且这一参数不能在碳化硅外延过程中实时调整，否则会导致产品不稳定。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术致力于提供一种反应室，无需通入惰性气体，且能够使产品旋转，以保证反应均匀，进而保证产品的稳定性。

2、为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种反应室，包括：

4、管体，用于形成所述反应室的反应腔；

5、载物台，转动设置于所述反应腔内；

6、与所述载物台传动连接的第一驱动组件，所述第一驱动组件设置于所述反应腔的外部，并用于驱动所述载物台转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种反应室，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述管体的侧壁上设置有空心柱，所述空心柱贯穿所述管体，且所述空心柱上设置有轴向延伸的中心通孔，用以形成所述传动通道；

4.根据权利要求3所述的反应室，其特征在于，所述管体包括内层石英管和套设在所述内层石英管上的外层石英管，且所述内层石英管和所述外层石英管均与所述空心柱固定连接。

5.根据权利要求4所述的反应室，其特征在于，所述内层石英管外壁和所述外层石英管内壁之间具有夹层区域，所述外层石英管的端部通过熔融焊接...

【技术特征摘要】

1.一种反应室，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述管体的侧壁上设置有空心柱，所述空心柱贯穿所述管体，且所述空心柱上设置有轴向延伸的中心通孔，用以形成所述传动通道；

4.根据权利要求3所述的反应室，其特征在于，所述管体包括内层石英管和套设在所述内层石英管上的外层石英管，且所述内层石英管和所述外层石英管均与所述空心柱固定连接。

5.根据权利要求4所述的反应室，其特征在于，所述内层石英管外壁和所述外层石英管内壁之间具有夹层区域，所述外层石英管的端部通过熔融焊接的方式连接于所述内层石英管的周向外侧面，并能够封闭所述内层石英管外壁和所述外层石英管内壁之间的夹层区域，以形成冷却腔；

6.根据权利要求4所述的反应室，其特征在于，所述内层石英管外壁和所述外层石英管...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一帆，黄帅帅，经军辉，肖蕴章，陈炳安，钟国仿，
申请(专利权)人：纳设智能装备江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：