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本技术提供了一种反应室,包括管体、载物台、驱动组件和传动件,管体用于形成反应室的反应腔,载物台转动设置于反应腔内,驱动组件设置于反应腔外,并通过传动件与载物台驱动连接,其中,管体的侧壁上设置有连通反应腔内部和反应腔外部的传动通道,以使得传动...该专利属于纳设智能装备(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳设智能装备(江苏)有限公司授权不得商用。
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本技术提供了一种反应室,包括管体、载物台、驱动组件和传动件,管体用于形成反应室的反应腔,载物台转动设置于反应腔内,驱动组件设置于反应腔外,并通过传动件与载物台驱动连接,其中,管体的侧壁上设置有连通反应腔内部和反应腔外部的传动通道,以使得传动...