下载加热装置及单晶炉的技术资料

文档序号:46620874

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本申请涉及单晶硅制造技术领域,尤其是涉及一种加热装置及单晶炉,加热装置包括:底部加热部以及侧部加热部;其中,所述底部加热部与所述侧部加热部相连接,并且围设成内部中空且沿着预设方向顶部开口的碗状结构。本申请提供的加热装置,增设了侧部加热部,侧...
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