【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空磁控溅射镀膜，特别涉及一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构。
技术介绍
1、在真空磁控溅射镀膜领域，磁场的均匀性是该技术的重点。目前传统的磁钢也具备调节功能，但是只能破真空，拆除磁钢，并拿到线下通过手动调节磁铁距离来调节磁场均匀性，而且往往一根磁钢需要边调节边测试才能达到较好的状态，并且随着使用靶材的消耗或者更换新的靶材等因素，还需要反复的调节。也就是说，当前磁钢主要为线下调节，需要大量的时间，浪费人力物力财力。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种在线可调磁钢结构，可实现磁钢的在线调节，也就可使磁钢随时可调，不需要破除真空，大大节省了调试时间，提高效率，节约成本。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种在线可调磁钢结构，应用于磁控溅射镀膜设备，包括：壳体、磁铁组件、调节机构和多个壳盖；
4、所述壳体位于其两端之间的第一壳壁设有多个开口，且沿所述壳体的长度方向分布；
5、所述磁铁组件设置于所述壳体内，...
【技术保护点】
1.一种在线可调磁钢结构，应用于磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：壳体(1)、磁铁组件、调节机构和多个壳盖(2)；
2.根据权利要求1所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，多个所述调节组件的调节端均能够沿所述第一方向运动，且与所述磁铁组件的多个调节位一一连接；
3.根据权利要求2所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，所述驱动组件包括：第一电机组件和转轴组件；
4.根据权利要求3所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，每个所述调节组件还包括支座(7)，所述第一丝杠调节组件设置于所述支座(7)；
5.根据权利要求4所述的在线可调磁...
【技术特征摘要】
1.一种在线可调磁钢结构，应用于磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：壳体(1)、磁铁组件、调节机构和多个壳盖(2)；
2.根据权利要求1所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，多个所述调节组件的调节端均能够沿所述第一方向运动，且与所述磁铁组件的多个调节位一一连接；
3.根据权利要求2所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，所述驱动组件包括：第一电机组件和转轴组件；
4.根据权利要求3所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，每个所述调节组件还包括支座(7)，所述第一丝杠调节组件设置于所述支座(7)；
5.根据权利要求4所述的在线可调磁钢结构，其特征在于，所述顶推组件包括：电磁铁(8...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶萍，雷雨，陈海峰，张思齐，刘芳，李新博，
申请(专利权)人：东莞南玻智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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