温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构，该在线可调磁钢结构包括：壳体、磁铁组件、调节机构和多个壳盖；壳体位于其两端之间的第一壳壁设有多个开口，且沿壳体的长度方向分布；磁铁组件设置于壳体内，且沿其长度方向预设有多个调节位，并与第...
该专利属于东莞南玻智能装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞南玻智能装备制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。