一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法技术

本发明专利技术属于氟化钙晶体检测领域，具体涉及一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法。针对现有技术中，对氟化钙晶体的单晶筛选主要停留在二维层面，不能较准确的进行三维定量分析，本发明专利技术提供了一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法，包括：(1)利用偏光应力仪观察氟化钙晶体的径向多晶走向，并标注；(2)利用偏光应力仪和激光辅助光源，观察氟化钙晶体的轴向多晶走向，并标注；(3)结合氟化钙晶体的径向多晶走向和轴向多晶走向，从而得到氟化钙晶体三维方向上单晶分布情况。该方法操作步骤简单，操作便于控制，可以较准确的评估单晶走向及可用尺度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于氟化钙晶体检测领域，具体涉及一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法，特别涉及一种氟化钙晶体三维方向上单晶分布的测试方法。

技术介绍

1、caf2是一种非常重要的光功能晶体，具有良好的光学性能、机械性能和化学稳定性，可以用做光学晶体、激光晶体和无机闪烁晶体。氟化钙透光范围宽(125～10000nm)，自真空紫外至中红外波段被广泛地用作光学介质。在紫外和可见波段，caf2晶体由于特殊的折射指数与相对色散值，成为复消色差透镜理想的光学材料。由于caf2单晶具有紫外透光性能良好、抗激光损伤阈值高、应力双折射低及折射率高等优点，所以成为研究深紫外准分子激光光刻技术的优选材料。

2、氟化钙晶体在存在多晶晶界的情况下，因取向不同导致折射率变化，即晶界两侧的主应力方向的折射率不再相同，及存在双折射。双折射导致材料产生光学相位延迟，会影响成像质量。现有技术中，对氟化钙晶体的单晶筛选主要停留在二维层面，不能较准确的进行三维定量分析。例如，通过偏光应力仪可以实现径向二维尺度的单晶分布情况。但在体单晶中，应确认轴向及径向三维方向上的单晶走向才可以实现氟化钙单晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在观察径向多晶走向之前，对所述氟化钙晶体的上/下端面进行细磨，并在上/下端面涂抹折射率匹配液。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述折射率匹配液包括：煤油、磨削油和Cargile折射率匹配液等中的一种。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中：将氟化钙晶体放置在偏光应力仪下，打开偏光应力仪的光源并转动氟化钙晶体，利用偏光找到径向二维平面上的晶界走向，并标注。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述氟化钙晶体的...

【技术特征摘要】

1.一种氟化钙晶体三维选料单晶的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在观察径向多晶走向之前，对所述氟化钙晶体的上/下端面进行细磨，并在上/下端面涂抹折射率匹配液。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述折射率匹配液包括：煤油、磨削油和cargile折射率匹配液等中的一种。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中：将氟化钙晶体放置在偏光应力仪下，打开偏光应力仪的光源并转动氟化钙晶体，利用偏光找到径向二维平面上的晶界走向，并标注。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣荣，苏良碧，吴庆辉，张博，王静雅，姜大朋，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：