真空处理设备及用于其的装载板移位检测系统和方法技术方案

本发明专利技术公开一种真空处理设备及用于其的装载板移位检测系统和方法，该真空处理设备包括真空腔和待测装载板，该装载板移位检测系统包括：图像采集模块，至少用于采集待测装载板的待测图像数据；图像处理模块，至少用于基于预设图形对待测图像数据进行处理，以生成待测特征图像；其中，预设图形基于待测装载板或者装载板固定槽的外缘尺寸建立；比较模块，用于获取基准特征图像和待测特征图像，并根据基准特征图像和待测特征图像确定待测装载板是否发生移位。本发明专利技术通过建立预设图形进行图像处理，生成特征图像，通过特征图像进行装载板移位检测，检测精度和检测效率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜机检测，尤其涉及一种真空处理设备及用于其的装载板移位检测系统和方法。

技术介绍

1、真空处理设备是一种在较高真空度下进行镀膜等操作的设备。在进行真空处理作业时，需要采用装载板将工件固定在真空腔体内。

2、图1为现有的一种真空处理设备的结构示意图；图2为现有的一种真空处理设备的装载板安装结构的俯视图。参见图1和图2所示，该真空处理设备包括真空腔s5、视窗s4、装载板s2、转台s1和装载板固定槽s3，其中，装载板固定槽s3用于固定装载板s2。在实际使用过程中，需要检测装载板s2在装载板固定槽s3内是否发生移位。现有技术通常采用传感器对装载板s2进行移位检测，并通过视窗s4对真空腔s5腔体内部的装载板s2是否移位进行人工检查。现有技术存在以下问题：通过传感器执行移位检测，需要驱动工件装载板自转以获取不同角度的检测数据，导致单个工件装载板的检测时间较长，且人工检查结果受检测人员的水平限制，易出现误判，检测效率低。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种真空处理设备及用于真空处理设备的装载本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于真空处理设备的装载板移位检测系统，所述真空处理设备包括真空腔和设置于所述真空腔内的待测装载板，其特征在于，所述装载板移位检测系统包括：

2.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述真空处理设备还包括基准装载板；

3.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述预设图形包括：第一像素区域和围绕所述第一像素区域间隔设置的第二像素区域；

4.根据权利要求3所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述第一像素区域的最小外缘尺寸小于所述待测装载板的最小外缘尺寸；所述第二像...

【技术特征摘要】

1.一种用于真空处理设备的装载板移位检测系统，所述真空处理设备包括真空腔和设置于所述真空腔内的待测装载板，其特征在于，所述装载板移位检测系统包括：

2.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述真空处理设备还包括基准装载板；

3.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述预设图形包括：第一像素区域和围绕所述第一像素区域间隔设置的第二像素区域；

4.根据权利要求3所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述第一像素区域的最小外缘尺寸小于所述待测装载板的最小外缘尺寸；所述第二像素区域的最小内缘尺寸大于所述待测装载板的最大外缘尺寸。

5.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：相机、镜头和光源；所述相机、所述镜头及所述光源设置于所述真空腔的视窗外侧；

6.根据权利要求1所述的用于真空处理设备的装载板移位检测系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：程松，秦纯超，邢涛，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：