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本发明公开一种真空处理设备及用于其的装载板移位检测系统和方法，该真空处理设备包括真空腔和待测装载板，该装载板移位检测系统包括：图像采集模块，至少用于采集待测装载板的待测图像数据；图像处理模块，至少用于基于预设图形对待测图像数据进行处理，以生...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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