光接收装置及光接收装置的制造方法制造方法及图纸

一种光接收装置１，包括：支撑衬底１２，上面设置有光检测器１１，所述光检测器包括光检测部分１１１和基板１１２，所述光检测部分１１１设置在所述基板上；透明衬底１３，设置为与所述支撑衬底１２的上面设置有所述光检测器１１的一面相对。在所述支撑衬底１２与所述透明衬底１３之间，将框架部分１４设置为包围所述光检测器１１。所述框架部分１４是光固化的粘合剂，与所述透明衬底１３和所述支撑衬底１２直接粘合。这种结构使光接收装置能够表现出期望的性能，还提供了一种制造这种光接收装置的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光接收装置及该光接收装置的制造方法。
技术介绍
迄今为止研发出来的光接收装置包括图5所示的固态成像装置。固态成像装 置100包括固态成像元件101和透光盖102，该固态成像元件101具有有效像素范围 (domain) IOIA，透光盖102在平面尺寸上比固态成像元件101小。 虽然未示出，但是在固态成像装置100中，接合线被连接到固态成像元件101突出 来超出透光盖102的部分，用于连接至支撑衬底上设置的连接端子，该连接端子也未示出 (例如参考专利文献1)。[专利文献1]日本特开专利公开No. 2004-296453
技术实现思路
[本专利技术要解决的技术问题] 在根据专利文献1的固态成像装置100中，通过粘合剂层103将固态成像元件101 与透光盖102接合起来。 这种结构可能会使得粘合剂层103覆盖固态成像元件101上的有效像素范围 IOIA，导致固态成像装置100难以完全实现期望的性能。 本专利技术的目的是提供一种光接收装置及其制造方法，这种装置能够表现出期望的 性能。[解决技术问题的方法] 根据本专利技术，提供一种光接收装置，包括支撑衬底，上面设置有光检测器，所述光 检测器包括光检测部分和基板，所述光检测部分设置在所述基板上；透明衬底，设置为与所 述支撑衬底的上面设置有所述光检测器的一面相对；以及框架部分，设置在所述支撑衬底 与所述透明衬底之间，以包围所述光检测器；其中，所述框架部分是电子束固化的粘合剂， 并与所述透明衬底和所述支撑衬底粘合。 根据本专利技术，将框架部分设置在所述透明衬底与所述支撑衬底之间并与这些衬底粘合。因此，由于框架部分不是设置在光检测器上，所以避免了框架部分与光检测器的光检测部分接触。这种结构使得光接收装置能够完全表现出期望的性能。这里所说的电子束代表的概念涵盖波长150nm至700nm的放射性射线，例如包括近紫外线和紫外线。 在上述结构中，通过用电子束将电子束固化的粘合剂膜选择性地曝光并去除未照 射的部分，形成所述框架部分，优选地，所述粘合剂膜的卤素离子浓度等于或小于500ppm。 特别地，优选所述粘合剂膜的卤素离子浓度等于或小于200卯m。 光检测器与支撑衬底可通过导线电连接，所述框架部分可形成为包围导线的外部 区域。在这种情况下，将所述粘合剂膜的卤素离子浓度调节到500ppm或以下，能防止导线由于从框架部分出现的卤素离子形成的化合物而造成腐蚀。 通过用光线将包含UV固化树脂的粘合剂膜选择性地曝光并去除未曝光部分，形 成所述框架部分，所述UV固化树脂是电子束固化树脂，所述粘合剂膜的UV透射率优选为等 于或大于40X每liim厚度。 根据本专利技术，将框架部分设置在透明衬底与上面放置了光检测器的支撑衬底之 间。因此，与设置在光检测器与透明衬底之间的传统框架部分相比，本专利技术的框架部分必须 更高(换句话说，粘合剂膜必须更厚)。 将所述粘合剂膜的UV透射率调节为40%或以上每1 m厚度，使得即使在粘合剂 膜厚的情况下也能够将粘合剂膜充分地光固化，从而形成框架部分。 优选通过用所述电子束将电子束固化的粘合剂膜选择性地曝光，并去除未曝光部 分，形成所述框架部分，并且用包含电子束固化树脂和填充剂的树脂合成物形成所述粘合 剂膜，当根据JIS Z0208-B测量时，所述粘合剂膜的透湿性等于或大于30[g/m2 24h]。 用包含电子束固化树脂和填充剂的树脂合成物形成所述粘合剂膜并根据JIS Z0208-B将透湿性调节到30[g/m2 24h]或以上，能够保证粘合剂膜形成的框架部分的内 部空间与外部空间之间通风。这种结构能防止透明衬底和支撑衬底上面的露水冷凝(dew condensation)。 此外，优选所述填充剂包括多孔填充剂，所述多孔填充剂是沸石。 在粘合剂膜中包括沸石能提高框架部分的透湿性，从而抑制内部空间的露水冷凝现象。 此外，优选所述框架部分包含能用所述电子束或热量硬化的可固化树脂，能用所 述电子束或热量硬化的可固化树脂包含(甲)丙烯酸改性酚醛树脂或含有(甲)丙烯酰基 的(甲)丙烯酸共聚物。 根据本专利技术，还提供一种制造光接收装置的方法，包括将包括光检测部分和基板的光检测器放置在支撑衬底上，其中，所述光检测部分设置在所述基板上；将包含电子束固化树脂的粘合剂膜粘合至透明衬底，其中，所述透明衬底要设置为与所述支撑衬底相对；用电子束将所述粘合剂膜选择性地曝光并去除未曝光部分，从而在包围所述透明衬底上当所述透明衬底被放置为与所述支撑衬底相对时覆盖所述光检测器的区域的区域中，以框架形状留下所述粘合剂膜；以及将所述支撑衬底与所述透明衬底设置为彼此相对，并通过由所述粘合剂膜构成的所述框架形状部分将所述支撑衬底与所述透明衬底粘合。 该方法中，优选在用700mJ/ci^的综合光量(integrated light quantity)进行所述电子束固化之后，在5(TC至18(TC的温度范围下，所述粘合剂膜的最小熔融粘度等于或大于1Pa s且等于或小于30000Pa s。特别地，优选最小熔融粘度等于或大于500Pa s。同样地，优选最小熔融粘度等于或小于5000Pa s。 通常，在支撑衬底的表面上设置很多互连。因此，在进行光固化之后，在5(TC至18(TC的温度范围内，将所述粘合剂膜的最小熔融粘度调节到30000Pa s或以下或者特别地在5000Pa s或以下，使得能够在低温下获得高加工性能(processability)，允许在低温下将粘合剂膜与支撑衬底相适配，从而提高粘合剂膜与支撑衬底之间的粘合力。此外，在进行光固化之后，在5(TC至18(TC的温度范围内，将所述粘合剂膜的最小熔融粘度调节到1Pa s或以上或者特别地在500Pa s或以上，能防止粘合剂膜过度展开。 此外，优选在用700mJ/cm2的综合光量进行所述电子束固化之后，所述粘合剂膜的 湿度分布因数(wet spread factor)等于或大于0. 1 %且等于或小于50% ，更优选在5% 至30%的范围内。进行电子束固化之后将所述粘合剂膜的湿度分布因数调节到O. 1%或以 上，使得能够将粘合剂膜与支撑衬底相适配，从而提高粘合剂膜与支撑衬底之间的粘合力。 此外，进行电子束固化之后将所述粘合剂膜的湿度分布因数调节到50%或以下， 能保证由粘合剂膜构成的框架部分的必需高度。 此外，以框架形状留下所述粘合剂膜的步骤优选包括将所述粘合剂膜的电子束 固化反应速度(reaction rate)调节为等于或大于10%，将热固性反应速度调节为等于或 小于90%。更优选地，电子束固化反应速度等于或大于70%，热固性反应速度等于或小于 10%。 留下所述粘合剂膜的步骤中将所述粘合剂膜的电子束固化反应速度调节到10% 或以上，保证了粘合剂膜适时地留在框架形图案中。 此外，留下所述粘合剂膜的步骤中将所述粘合剂膜的热固性反应速度调节到90% 或以下，在将支撑衬底与透明衬底粘合时能获得充分的热固性反应过程，从而能通过粘合 剂膜保证支撑衬底与透明衬底之间的粘合力。 [本专利技术的优点] 本专利技术提供一种非常可靠的光接收装置及其制造方法。 附图说明 图1是示出根据本专利技术实施例的光接收装置的剖视图； 图2是示出光接收装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光接收装置，包括：　　支撑衬底，上面设置有光检测器，所述光检测器包括光检测部分和基板，所述光检测部分设置在所述基板上；透明衬底，设置为与所述支撑衬底的上面设置有所述光检测器的一面相对；以及　　框架部分，设置在所述支撑衬底与所述透明衬底之间，以包围所述光检测器；　　其中，所述框架部分是电子束固化的粘合剂，并粘合到所述透明衬底和所述支撑衬底。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-7-12 182703/2007一种光接收装置，包括支撑衬底，上面设置有光检测器，所述光检测器包括光检测部分和基板，所述光检测部分设置在所述基板上；透明衬底，设置为与所述支撑衬底的上面设置有所述光检测器的一面相对；以及框架部分，设置在所述支撑衬底与所述透明衬底之间，以包围所述光检测器；其中，所述框架部分是电子束固化的粘合剂，并粘合到所述透明衬底和所述支撑衬底。2. 如权利要求1所述的光接收装置，其中，所述框架部分是通过用电子束将电子束固化的粘合剂膜选择性地曝光并去除未 曝光部分而形成的；以及所述粘合剂膜的卤素离子浓度等于或小于500ppm。3. 如权利要求1或2所述的光接收装置，其中，所述框架部分是通过用光线将包含UV固化树脂的粘合剂膜选择性地曝光并去 除未曝光部分而形成的，所述UV固化树脂是电子束固化树脂；以及 所述粘合剂膜的UV透射率等于或大于40%每1 i！ m厚度。4. 如权利要求1至3任一项所述的光接收装置，其中，所述框架部分是通过用电子束将电子束固化的粘合剂膜选择性地曝光并去除未 曝光部分而形成的；以及所述粘合剂膜由包含电子束固化树脂和填充剂的树脂合成物形成，并且当根据JIS Z0208-B测量时，所述粘合剂膜的透湿性等级等于或大于30[g/m2 24h]。5. 如权利要求4所述的光接收装置， 其中，所述填充剂包括多孔填充剂；以及 所述多孔填充剂是沸石。6. 如权利要求1至5任一项所述的光接收装置， 其中，所述框架部分包含能用所述电子束或热量硬化...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥豊诚，高山梨惠，杉野光生，川田政和，
申请(专利权)人：住友电木株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]