一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器制造技术

一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，它属于流量传感器技术领域。本技术的目的是要解决现有电阻热式流量传感器由多只分立器件组成，且介质流量测量精确度较低的问题。薄膜电阻热式流量传感器为多层结构，包括陶瓷基片衬底层、顶层温度敏感薄膜层、顶层玻璃封接钝化层、顶层电极浆料、顶层玻璃浆料、顶层引线、底层温度敏感薄膜层、底层玻璃封接钝化层、底层电极浆料、底层玻璃浆料和底层引线。本技术在陶瓷基片正、反面制作阻值大小不同的薄膜敏感栅，正、反两个温度敏感单元同时、独立工作，正面顶层阻值小的敏感栅测速，反面底层阻值大的敏感栅测温，可广泛应用于汽车、工业中高可靠、高精度介质流量测量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于流量传感器，具体涉及一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器。

技术介绍

1、现有流量的测试方式较多，常见如：差压式、浮子式、涡轮式、电磁式和热式等，热式流量计基于加热物体与流体的对流交换原理制作，电阻式热式流量传感器是热式流量计的主要种类之一，具有体积小、响应速度快、稳定性好和抗酸抗腐蚀能等特点，现有电阻热式流量传感器测量原理为：在测量管路中加入两个热敏电阻，一个作为用于测量被测介质温度的测温电阻，另一个作为用于测量被测介质速度的测速电阻，以恒定功率为测速电阻提供热量，使其加热到高于环境的温度，根据热传导原理，介质流动带走测速电阻表面一部分热量，流量越大，两只热敏电阻温差越小，测量随介质流量变化的两只热敏电阻温差可反映介质流量大小。但现有电阻热式流量传感器结构上由两只分立电阻器件组成，产品存在使用不便，可靠性差等问题；且由于测温热敏电阻标称阻值较小，导致其对介质测温灵敏度较低，根据流量测量值与两只热敏电阻温差有关的原理，现有流量计存在流量测量精确度较低问题和分立器件导致结构复杂的问题。

技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述薄膜电阻热式流量传感器为多层结构，包括陶瓷基片衬底层(1)、顶层温度敏感薄膜层(2)、顶层玻璃封接钝化层(3)、顶层电极浆料(4)、顶层玻璃浆料(5)、二个顶层引线(6)、底层温度敏感薄膜层(7)、底层玻璃封接钝化层(8)、底层电极浆料(9)、底层玻璃浆料(10)和二个底层引线(11)；

2.根据权利要求1所述的一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述的陶瓷基片衬底层(1)为AlN陶瓷、SiC陶瓷、Si3N4陶瓷或Al2O3陶瓷。

3.根据权利要求1所述的一种双面不对称一体化结...

【技术特征摘要】

1.一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述薄膜电阻热式流量传感器为多层结构，包括陶瓷基片衬底层(1)、顶层温度敏感薄膜层(2)、顶层玻璃封接钝化层(3)、顶层电极浆料(4)、顶层玻璃浆料(5)、二个顶层引线(6)、底层温度敏感薄膜层(7)、底层玻璃封接钝化层(8)、底层电极浆料(9)、底层玻璃浆料(10)和二个底层引线(11)；

2.根据权利要求1所述的一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述的陶瓷基片衬底层(1)为aln陶瓷、sic陶瓷、si3n4陶瓷或al2o3陶瓷。

3.根据权利要求1所述的一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述的顶层感温金属线条图形(12)和底层感温金属线条图形(13)分别通过两个顶层引线焊盘(12-2)和两个底层引线焊盘(13-2)，经由表面涂覆的顶层电极浆料(4)和底层电极浆料(9)与二个顶层引线(6)和二个底层引线(11)连通，实现正、反两个温度敏感单元的信号传输。

4.根据权利要求1所述的一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于通过溅射的方法在陶瓷基片衬底层(1)的正、反表面上分别沉积金属薄膜，形成顶层温度敏感薄膜层(2)和底层温度敏感薄膜层(7)。

5.根据权利要求4所述的一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，其特征在于所述的顶层温度敏感薄膜层(2)的厚度为1.2μm～1.4μm；所述的底层温度敏感薄膜层(7)的厚度为1.2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王大兴，杨永超，姜晓龙，高云鹏，皮倩倩，邬奕欣，刘思梦，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：新型
国别省市：