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一种双面不对称一体化结构薄膜电阻热式流量传感器，它属于流量传感器技术领域。本技术的目的是要解决现有电阻热式流量传感器由多只分立器件组成，且介质流量测量精确度较低的问题。薄膜电阻热式流量传感器为多层结构，包括陶瓷基片衬底层、顶层温度敏感薄膜层...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十九研究所授权不得商用。

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