OLED面板掩膜板蚀刻装置制造方法及图纸

本发明专利技术适用于OLED面板制作技术领域，提供了OLED面板掩膜板蚀刻装置，包括外壳、蚀刻组件、集液组件以及控制系统；所述外壳包括对称设置的两组侧板，所述侧板底部设置有六组支撑柱，所述侧板顶部安装有壳体，所述壳体两端分别设置有一组移门；所述外壳用于封闭蚀刻环境，为蚀刻提供稳定环境，同时避免蚀刻产生的气体外溢；所述蚀刻组件包括转动连接于两组壳体内侧的若干组传送杆，该装置解决了在蚀刻过程中，蚀刻剂不仅会垂直蚀刻材料，还会沿着侧壁进行横向蚀刻的现象。这种现象会导致蚀刻宽度增加，从而影响蚀刻结果的精确性的问题。达到了通过监测蚀刻过程，并根据监测结果对蚀刻过程的温度、压力进行调整达到减少侧壁蚀刻的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及oled面板制作，更具体地说，它涉及oled面板掩膜板蚀刻装置。

技术介绍

1、oled（有机发光二极管）板是一种先进的显示技术，通过在两层电极之间夹层有机材料，当电流通过时，有机材料会发光。oled板具有自发光、高对比度、广视角、快速响应时间和低功耗等优点，广泛应用于智能手机、电视、可穿戴设备等领域。

2、oled板的制作过程包括基板准备、光刻工艺、有机层蒸镀、切割和测试等多个步骤，每个环节都需要高精度和严格控制，以确保最终产品的性能和寿命。其中，有机层蒸镀是至关重要的一步，有机层蒸镀是在真空环境下，将材料加热至气化升华，使气体凝结于基板表面形成薄膜，而构成oled板中的空穴注入层、空穴传输层、发光层、等多层结构，由于rgb子像素的存在，发光层蒸镀还需要用到掩膜板，他们负责将需要蒸镀的地方空出，将不需蒸镀的地方遮挡住，从而完成rgb发光材料的依次蒸镀。

3、发光层蒸镀采用的掩膜板通常设置为极薄的金属薄片，掩膜板根据oled的要求，通过蚀刻工艺将掩膜板蚀刻成不同的形状，蚀刻工艺是由对未附着光刻胶的掩膜基板的板表面进行化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.OLED面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：包括外壳（1）、蚀刻组件（2）、集液组件（3）以及控制系统；

2.根据权利要求1所述的OLED面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述移门（11）包括连接于壳体（12）侧壁的安装板（115），所述安装板（115）顶端设置有传动驱动（113），所述传动驱动（113）一侧设置有传动模块（112），所述传动模块（112）上套设有滑块（111），所述滑块（111）上连接有门板（114）。

3.根据权利要求1所述的OLED面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻模块（22）包括与壳体（12）连接的四组支撑杆（222），四组所述支撑杆（...

【技术特征摘要】

1.oled面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：包括外壳（1）、蚀刻组件（2）、集液组件（3）以及控制系统；

2.根据权利要求1所述的oled面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述移门（11）包括连接于壳体（12）侧壁的安装板（115），所述安装板（115）顶端设置有传动驱动（113），所述传动驱动（113）一侧设置有传动模块（112），所述传动模块（112）上套设有滑块（111），所述滑块（111）上连接有门板（114）。

3.根据权利要求1所述的oled面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻模块（22）包括与壳体（12）连接的四组支撑杆（222），四组所述支撑杆（222）顶端安装有支撑架（221），所述支撑架（221）底部等距设置有两组喷淋管（223），每组所述喷淋管（223）上安装有若干组喷淋头（225），所述喷淋头（225）用于向掩膜板（4）喷淋蚀刻液，每两组所述喷淋管（223）之间设置有一组安装杆（224），每组所述安装杆（224）上安装有两组超声波探头（226）。

4.根据权利要求1所述的oled面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述集液板（32）包括倾斜连接于顶板（31）一侧的斜板（321），所述斜板（321）远离顶板（31）一端安装有半圆弧型的集液槽（322），所述集液槽（322）一侧开设有供蚀刻液流出的排液孔（323）。

5.根据权利要求1所述的oled面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：所述控制系统包括监测模块、控制模块以及交互模块；

【专利技术属性】
技术研发人员：周平，张少平，
申请(专利权)人：江苏希尔芯半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：

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