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本发明适用于OLED面板制作技术领域，提供了OLED面板掩膜板蚀刻装置，包括外壳、蚀刻组件、集液组件以及控制系统；所述外壳包括对称设置的两组侧板，所述侧板底部设置有六组支撑柱，所述侧板顶部安装有壳体，所述壳体两端分别设置有一组移门；所述外壳...
该专利属于江苏希尔芯半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏希尔芯半导体设备有限公司授权不得商用。

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