一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置制造方法及图纸

本技术公开了一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置，包括送料辊、撕膜平台和收卷辊，送料辊与撕膜平台之间设置有若干前张紧辊，撕膜平台与收卷辊之间设置有若干后张紧辊，送料辊上安装有DAF膜，DAF膜的外端依次穿过前张紧辊、撕膜平台、后张紧辊与收卷辊连接，还包括控制单元和报警单元，后张紧辊处安装有厚度传感器，厚度传感器、报警单元均与控制单元电性连接。通过在后张紧辊处安装厚度传感器，对后张紧辊的厚度进行实时监测，一旦发生胶粘附在后张紧辊上则及时报警，避免后张紧辊上粘胶造成后张紧辊厚度不均，保证了DAF膜受力的均匀性，保证了产品的质量和安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体封装，尤其涉及一种晶圆贴膜设备的daf膜传输装置。

技术介绍

1、在半导体晶圆研磨过程中，会涉及两次贴膜动作，一是对晶圆正面贴膜后进行晶圆研磨动作：主要作用是保护晶圆正面免受物理损伤，防止研磨过程中产生的碎屑和研磨液污染晶圆，同时通过提供应力缓和和延伸性来减少应力引起的晶圆破损或波纹。一是对晶圆背面贴daf膜动作：主要作用是保护晶圆免受物理损伤和污染，精确控制粘合剂用量以减少翘曲，简化芯片键合工艺，提高生产效率，同时提供优异的隔离性能和良好的导热性能，增强封装的可靠性，并支持积层化和薄型化封装技术。

2、然而，本申请人在实施上述技术方案时发现，由于daf膜贴膜后废膜上仍存在废弃胶层，在后续废膜收卷过程中废弃胶层易粘附在滚轴上，造成dafa膜受力不均，使daf膜断裂，导致晶圆的损坏。

3、基于上述技术问题，本申请提出一种晶圆贴膜设备的daf膜传输装置。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种晶圆贴膜设备的daf膜传输装置，以解决
技术介绍
中提到的技术问题，本技术的目的是通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置，包括送料辊、撕膜平台和收卷辊，所述送料辊与所述撕膜平台之间设置有若干前张紧辊，所述撕膜平台与所述收卷辊之间设置有若干后张紧辊，所述送料辊上安装有DAF膜，所述DAF膜的外端依次穿过所述前张紧辊、所述撕膜平台、所述后张紧辊与所述收卷辊连接，其特征在于，还包括控制单元和报警单元，所述后张紧辊处安装有厚度传感器，所述厚度传感器、所述报警单元均与所述控制单元电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置，其特征在于，所述厚度传感器为三维激光传感器，所述三维激光传感器的检测面朝向所述后张紧辊的辊面。p>

3.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆贴膜设备的daf膜传输装置，包括送料辊、撕膜平台和收卷辊，所述送料辊与所述撕膜平台之间设置有若干前张紧辊，所述撕膜平台与所述收卷辊之间设置有若干后张紧辊，所述送料辊上安装有daf膜，所述daf膜的外端依次穿过所述前张紧辊、所述撕膜平台、所述后张紧辊与所述收卷辊连接，其特征在于，还包括控制单元和报警单元，所述后张紧辊处安装有厚度传感器，所述厚度传感器、所述报警单元均与所述控制单元电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜设备的daf膜传输装置，其特征在于，所述厚度传感器为三维激光传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：贲锋，
申请(专利权)人：康佳芯云半导体科技盐城有限公司，
类型：新型
国别省市：