下载一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置的技术资料

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本技术公开了一种晶圆贴膜设备的DAF膜传输装置,包括送料辊、撕膜平台和收卷辊,送料辊与撕膜平台之间设置有若干前张紧辊,撕膜平台与收卷辊之间设置有若干后张紧辊,送料辊上安装有DAF膜,DAF膜的外端依次穿过前张紧辊、撕膜平台、后张紧辊与收卷辊...
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