【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超精密加工，特别涉及一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置与方法。
技术介绍
1、随着现代制造技术的不断发展，微细结构表面在航空航天、半导体、精密光学以及生物医学等领域得到了广泛应用。这些微细结构表面通常具有复杂的几何形状，面形精度和表面质量的要求极为苛刻。尤其是微细结构零件的大规模生产中，通常采用模压成型或注塑成型等技术基于微细结构模具进行批量化制造。由于零件制造基于复制原理，微细结构模具在超精密加工后产生的刀纹、毛刺等表面缺陷会复制到元件表面。因此需要对超精密加工后的微细结构模具和微细结构元件进行抛光处理，提高表面光洁度、减少表面缺陷，并保证微细结构的面形精度，传统的抛光技术在某些高精度加工中已难以满足需求。
2、中国专利技术专利cn118809315a公开了一种基于气隙励磁交变磁场的磁性剪切增稠抛光装置及方法，该专利技术是一种基于机器人平台的磁性剪切增稠抛光方法，工件夹持在机器人末端的主轴上，通过工件的高速旋转与磁性剪切增稠液接触来完成抛光，难以适应微细结构表面复杂的保形抛光需求。
3、中...
【技术保护点】
1.一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，包括运动单元、抛光单元、装夹单元、抛光液循环单元和工作台(17)，所述运动单元安装在工作台(17)上的一侧，所述装夹单元安装在工作台(17)上的另一侧，所述抛光单元安装在运动单元上，所述抛光液循环单元安装在工作台(17)上；
2.根据权利要求1所述一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述磁性抛光轮(8)外圆面沿环向均匀镶嵌多个磁极(20)；所述磁极(20)为电磁极；相邻磁极(20)的极性相反；所述剪切增稠抛光轮(7)表面粘贴抛光垫(18)。
3.根据权利要求1所述一种微细结构表...
【技术特征摘要】
1.一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，包括运动单元、抛光单元、装夹单元、抛光液循环单元和工作台(17)，所述运动单元安装在工作台(17)上的一侧，所述装夹单元安装在工作台(17)上的另一侧，所述抛光单元安装在运动单元上，所述抛光液循环单元安装在工作台(17)上；
2.根据权利要求1所述一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述磁性抛光轮(8)外圆面沿环向均匀镶嵌多个磁极(20)；所述磁极(20)为电磁极；相邻磁极(20)的极性相反；所述剪切增稠抛光轮(7)表面粘贴抛光垫(18)。
3.根据权利要求1所述一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述剪切增稠抛光轮主轴(10)和磁性抛光轮主轴(11)的轴线位于与工作台(17)台面平行的平面内。
4.根据权利要求1所述一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述运动单元包括x轴(15)、y轴(16)、z轴(14)和z轴滑台(13)，所述x轴(15)固定安装在工作台(17)上，所述y轴(16)与x轴(15)滑动连接、沿x轴(15)滑动，所述z轴(14)与y轴(16)滑动连接、沿y轴(16)滑动，所述z轴滑台(13)与z轴(14)滑动连接、沿z轴(14)滑动；所述运动单元提供抛光所需的对刀和相对运动。
5.根据权利要求1所述一种微细结构表面的磁场辅助剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述装夹单元包括夹具(5)和夹具平台(4)，所述夹具(5)固定安装在夹具平台(4)上，所述夹具平台(4)固定安装在工作台(17)上；所述夹具平台(4)为回字形高精度台，所述夹具(5)通过两个夹紧块(6)夹住工...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭江，孙权权，刘伟嵬，李琳光，郭凌曦，沈丽峰，何家华，朱雷，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：
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