一种晶圆机器人上料位置自动示教系统技术方案

本发明专利技术涉及晶圆搬运机器人的技术领域，具体涉及一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，包括晶圆夹具和视觉系统，所述晶圆夹具的一侧设有晶圆搬运臂，所述晶圆搬运臂搬运晶圆硅片至晶圆夹具上，所述晶圆夹具上绕其中心点呈中心对称状设置有至少三个标志点，所述标志点位于同一水平面上，所述晶圆夹具的正上方设有相机，所述相机捕捉识别晶圆夹具和标志点，所述视觉系统接收相机的数据，并对其进行处理，本发明专利技术中，相机捕捉晶圆夹具上的标志点后，向视觉系统提供数据，使视觉系统根据标志点的位置计算出晶圆夹具的夹具中心位置，以将示教点位进行物理位置量化，以便于快速校准示教点位，节省示教时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆搬运机器人的，具体涉及一种晶圆机器人上料位置自动示教系统。

技术介绍

1、晶圆搬运机器人是目前半导体自动化检测设备中必不可少的部件，其核心功能是将晶圆从片盒中取出，并依次将晶圆放到各个检测台上，待完成检测后，再将晶圆放回片盒中。目前使用晶圆搬运机器人转移硅片时，首先要对机器人的操作点位进行示教。也就是需要操作员通过机器人示教器手动示教出各个操作的点位。

2、当前对晶圆机器人上料位置的示教方法有以下缺点：

3、1.示教时间长，由于是需要手动调节示教器参数方式来调节示教点位，所以需要操作员首先需要掌握示教器的使用方法，在示教过程中需要不断验证和观察示教的位置是否合格，这样会导致花费大量的示教时间。

4、2.示教精度底，人工示教的方式导致不同的操作员示教的精度是不一样的，而且示教过程中是基于人眼判断示教位置是否正确，没有物理位置量化的示教精度结果。一旦需要重新示教，则很难恢复到之前的示教位置。

5、3.示教风险大，在示教过程中，存在人为输入参数错误的可能，会导致晶圆有被撞碎的风险。

6本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，包括晶圆夹具(1)和视觉系统(5)，所述晶圆夹具(1)的一侧设有晶圆搬运臂(10)，所述晶圆搬运臂(10)搬运晶圆硅片至晶圆夹具(1)上，其特征在于，所述晶圆夹具(1)上绕其中心点呈中心对称状设置有至少三个标志点(3)，所述标志点(3)位于同一水平面上，所述晶圆夹具(1)的正上方设有相机(2)，所述相机(2)捕捉识别晶圆夹具(1)和标志点(3)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，其特征在于，四个所述标志点(3)的连线经过晶圆夹具(1)的中心，并且相对所述晶圆夹具(1)的中心呈左右对称状。</p>

3.根据...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，包括晶圆夹具(1)和视觉系统(5)，所述晶圆夹具(1)的一侧设有晶圆搬运臂(10)，所述晶圆搬运臂(10)搬运晶圆硅片至晶圆夹具(1)上，其特征在于，所述晶圆夹具(1)上绕其中心点呈中心对称状设置有至少三个标志点(3)，所述标志点(3)位于同一水平面上，所述晶圆夹具(1)的正上方设有相机(2)，所述相机(2)捕捉识别晶圆夹具(1)和标志点(3)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，其特征在于，四个所述标志点(3)的连线经过晶圆夹具(1)的中心，并且相对所述晶圆夹具(1)的中心呈左右对称状。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，其特征在于：所述视觉系统(5)通过相机(2)识别四个标志点(3)，并将数据转化为物理坐标(p1x，p1y)、(p2x，p2y)、(p3x，p3y)、(p4x，p4y)，并计算夹具中心位置(50)的物理坐标(p0x，p0y)，其中，(p0x，p0y)的计算公式为：

4.根据权利要求3所述的一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，其特征在于：所述视觉系统(5)通过相机(2)识别晶圆硅片，得到晶片中心位置(51)的物理坐标(ptx...

【专利技术属性】
技术研发人员：张庆久，宋金龙，孙仕亮，朱建国，
申请(专利权)人：法博思宁波半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：