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本发明涉及晶圆搬运机器人的技术领域，具体涉及一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，包括晶圆夹具和视觉系统，所述晶圆夹具的一侧设有晶圆搬运臂，所述晶圆搬运臂搬运晶圆硅片至晶圆夹具上，所述晶圆夹具上绕其中心点呈中心对称状设置有至少三个标志点，所述...
该专利属于法博思（宁波）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过法博思（宁波）半导体设备有限公司授权不得商用。

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