一种不规则交叉划痕轮廓分割算法制造技术

本发明专利技术涉及一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，包括以下步骤：S1、设置输入数据{p1,p2,p3,...,pn}；S2、轮廓处理：S21、将轮廓点画到和原图同样大小的全黑的灰度图上，并且轮廓中间填充白色；S22、计算轮廓两边的中点；S23：用机器使用DBSCAN聚类算法将中线点聚类，进而得到在交叉点分割开的中线；S24：用数据滤波去掉离散的噪点；S25：循环遍历中线点数组，计算每个中线的斜率；S26：中线分类；S27：根据中线点所属的轮廓点，将轮廓点按照中线点的类别整理好，得到完整的属于一条划痕的轮廓；S3、输出结果；本发明专利技术能准确的分割出不规则轮廓中的相连并交叉的划痕条数，进而解决了深度学习技术不能分割出交叉划痕的问题，从而适用于对划痕数量有把控要求的设备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机器视觉检测，尤其涉及一种不规则交叉划痕轮廓分割算法。

技术介绍

1、在当前大多数的表面缺陷检测的设备中，以晶圆表面划痕检测为例，所用的主流的技术就是深度学习中的图像分割，它能将晶圆表面的划痕准确地识别出来，但是分割的结果是一个基于该划痕的连续不规则的轮廓，虽然是满足了划痕检测的要求，但是如果在站点卡控中有划痕数量的要求，那么在深度学习下多个相连的交叉的划痕数量会被归纳总结为1，显然交叉划痕的条数并不是1，此时就需要把这些划痕的轮廓给它切分出来，准确地计算出划痕条数，然而，目前的深度学习技术水平对于具有多条交叉划痕的轮廓无能为力，无法准确计算出不规则轮廓中的划痕条数，亟需等待解决。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的现状，本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能准确的分割出不规则轮廓中的相连并交叉的划痕条数，进而解决了深度学习技术不能分割出交叉划痕的问题，从而适用于对划痕数量有把控要求的设备的不规则交叉划痕轮廓分割算法。

2、本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种不规本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，所述步骤S22包括：

3.根据权利要求2所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，所述步骤S221或S222中，若两个中点的x或y坐标相同，则计算两点的轮廓的横向或纵向的距离大小，选择距离小的那个轮廓的中点作为轮廓中线的点，并用该中线来代替原本的轮廓。

4.根据权利要求1所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，所述步骤S26包括：

5.根据权利要求4所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，所述步骤s22包括：

3.根据权利要求2所述的一种不规则交叉划痕轮廓分割算法，其特征在于，所述步骤s221或s222中，若两个中点的x或y坐标相同，则计算两点的轮廓的横向或纵向的距离大小，选择距离小的那个轮廓的中点...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋金龙，张庆久，徐勤功，
申请(专利权)人：法博思宁波半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：