一种制备超薄金刚石声学振膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，属于金刚石应用领域。包括以下步骤：S1：对基底材料进行加工处理，形成声学振膜需要的三维形状；S2：在基底材料上沉积金刚石薄膜；S3：将金刚石薄膜从基底材料上剥离；S4：将剥离掉的金刚石材料通过静电吸附在预制的载体上形成金刚石声学振膜。本发明专利技术的有益效果是：与现有技术相比，本申请通过化学气相沉积的方式制备出三维形状的金刚石薄膜，然后将金刚石薄膜制作成声学振膜，整个工艺简单，能够实现金刚石声学振膜低成本的制作，进而便于金刚石材料在声学振膜上的推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于金刚石薄膜应用领域，特别涉及一种制备超薄金刚石声学振膜的方法。

技术介绍

1、金刚石作为一种超硬材料，莫氏硬度达到10，维氏硬度更可达10000kg/mm2。对比努普硬度值可以得出，金刚石的硬度是氧化铝的5倍，石英的12倍，碳化钨的4.7倍，碳化硅的4倍，碳化硼的3.7倍，立方氮化硼的2倍，是目前已知天然物质中硬度最大的材料。此外，金刚石的体积弹性模量k＝5.42×105n/mm2，是金属钨的1.8倍，各型号不锈钢材的5-7倍。对比金刚石与其他几种硬质材料的抗压强度和抗拉强度，可以看出，金刚石的抗压能力很强，而抗拉强度则不高，因此金刚石常表现为硬脆性。这些性能给予金刚石在机械加工领域广泛的应用场景，能够从传统的机械加工一直延伸到精密加工以及半导体加工处理。

2、金刚石材料基于超高弹性模量和相对较低的密度，其声波速度远远高于常规材料，非常适合制作声乐器件。但是由于金刚石的昂贵成本和制作难度，目前只在非常高端的发烧级音响上少量使用。另外，金刚石在厚度超过200微米时，不具有柔性特征，在声学器件制作过程中容易破裂、损坏，导致加工难度极大本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤S1中，基底材料采用高导热材料。

3.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤S1中，加工处理的方法为机械加工、激光加工、超声波加工、电火花加工的其中之一。

4.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤S1中，三维形状包括平面、内凹弧面、外凸弧面。

5.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤S2中，在MPCVD腔体内沉积...

【技术特征摘要】

1.一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤s1中，基底材料采用高导热材料。

3.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤s1中，加工处理的方法为机械加工、激光加工、超声波加工、电火花加工的其中之一。

4.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤s1中，三维形状包括平面、内凹弧面、外凸弧面。

5.如权利要求1所述的一种制备超薄金刚石声学振膜的方法，其特征在于，步骤s2中，在mpcvd腔体内沉积金刚石薄膜，金刚石薄膜的厚度为0.1-50um；金刚石薄膜的沉积条件为：沉积功率4-10kw，沉积气压50-300torr，载流气体为氢气，氢气流量100-2000sccm，碳源为甲烷，甲烷占比2％-12％，辅助气体为氮气、硼烷，氮气或者硼烷占比1-100ppm。

6.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀成相，
申请(专利权)人：北京左文科技有限公司，
类型：发明
国别省市：