一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，属于金刚石合成装置技术领域。包括有基台主体，所述基台主体上安装有用于沉积金刚石的衬底，所述基台主体的表面设置有一层用于稳定衬底红外放射率的碳膜，所述衬底与基台主体通过所述碳膜分隔。相比于现有技术：首先，本基台的碳膜能够使衬底的红外放射率较快地趋于稳定，提高了测温的准确性；其次碳膜能够增加衬底与基台之间的热传导，提高衬底与基台之间的热传导效率；再次，本实用新型专利技术的基台主体可以设置成各种形状，能够通过改变基台的形状影响单晶金刚石的生长速率、多晶控制、内部杂质和温度均匀性，提高金刚石的品质。石的品质。石的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台


[0001]本技术属于金刚石合成装置
，特别涉及一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台。

技术介绍

[0002]金刚石是一种性能优越的矿物材料，在很多领域都有广泛的应用。化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一，通过解离含碳的混合气体，活性碳原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石。
[0003]化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中，温度是晶体合成重要影响因素。在晶体的合成过程中，衬底表面的温度无法直接测得，常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量，被测物的红外放射率直接影响了测温的结果。由于单晶金刚石衬底通常是透明的，单晶金刚石在晶种表面沉积时，晶种与基台的接触面同时也会逐渐形成一层碳膜，随着碳膜厚度的增加，碳膜的颜色由蓝色经棕色变为黑色，透明度也由透明转为不透明，随着颜色的加深，衬底的红外放射率也不断上升，会导致衬底表面的温度测量不够准确，影响单晶金刚石测温稳定性。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术的首要目的在于提供一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，提高了测温的准确性。
[0005]本技术的另一个目的在于提供一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，具有优异的热传导效率。
[0006]本技术的再一个目的在于提供一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，结构简单、成本，便于使用和推广。
[0007]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0008]本技术提供一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，该基台包括有基台主体，所述基台主体上安装有用于沉积金刚石的衬底，所述基台主体的表面设置有一层用于稳定衬底红外放射率的黑色的碳膜，所述衬底与基台主体通过所述碳膜分隔。在本技术当中，碳膜能够使衬底的红外放射率较快地趋于稳定，提高了测温的准确性，同时也可以提高了晶种与基台之间的热传导效率。
[0009]进一步地，所述碳膜通过化学沉积或真空镀膜覆盖在基台主体上。
[0010]进一步地，所述衬底设置有一个以上，一个以上的衬底在基台主体上等间距设置。
[0011]进一步地，所述基台主体的上表面为平面型结构，所述衬底设置在基台主体的上表面上。
[0012]进一步地，所述基台主体的上表面设置有凹槽，所述衬底设置在凹槽中。
[0013]进一步地，所述基台主体的上表面设置有多个以上的凸起，相邻的两个凸起之间形成用于夹持衬底的夹持位，所述衬底固定在夹持位中。
[0014]本技术的优势在于，相比于现有技术：
[0015]首先，本技术的基台主体上设置有一层黑色的碳膜，能够使衬底的红外放射率较快地趋于稳定，提高了测温的准确性；
[0016]其次，衬底与基台通过碳膜连接，能够增加衬底与基台之间的热传导，提高衬底与基台之间的热传导效率；
[0017]再次，本技术的基台主体可以设置成各种形状，能够通过改变基台的形状影响单晶金刚石的生长速率、多晶控制、内部杂质和温度均匀性，提高金刚石的品质；
[0018]最后，本技术结构简单、生产成本低，便于推广和使用。
附图说明
[0019]图1是基台主体的表面为平面型的结构的本实施例的主视图。
[0020]图2是基台主体的表面为平面型的结构的本实施例的俯视图。
[0021]图3是基台主体的表面设置有凹槽的本实施例的主视图。
[0022]图4是基台主体的表面设置有凹槽的本实施例的俯视图。
[0023]图5是基台主体的表面设置有凸起的本实施例的主视图。
[0024]图6是基台主体的表面设置有凸起的本实施例的俯视图。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0027]参见图1
‑
6所示，本技术提供一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，该基台包括有基台主体1，所述基台主体1上安装有用于沉积金刚石的衬底2，所述基台主体1的表面设置有一层用于稳定衬底2红外放射率的黑色的碳膜3，所述衬底2与基台主体1通过所述碳膜3分隔。在本技术当中，碳膜3能够使衬底2的红外放射率较快地趋于稳定，提高了测温的准确性，同时也可以提高了晶种与基台之间的热传导效率。
[0028]所述碳膜3通过化学沉积或真空镀膜覆盖在基台主体1上。
[0029]所述衬底2设置有一个以上，一个以上的衬底2在基台主体1上等间距设置。
[0030]所述基台主体1的上表面为平面型结构，所述衬底2设置在基台主体1的上表面上；或所述基台主体1的上表面设置有凹槽11，所述衬底2设置在凹槽11中；或所述基台主体1的上表面设置有多个以上的凸起12，相邻的两个凸起12之间形成用于夹持衬底2的夹持位13，所述衬底2固定在夹持位13中。
[0031]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，其特征在于，该基台包括有基台主体，所述基台主体上安装有用于沉积金刚石的衬底，所述基台主体的表面设置有一层用于稳定衬底红外放射率的碳膜，所述衬底与基台主体通过所述碳膜分隔。2.如权利要求1所述的一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，其特征在于，所述碳膜通过化学沉积或真空镀膜覆盖在基台主体上。3.如权利要求1所述的一种利于气相沉积合成单晶金刚石测温稳定的基台，其特征在于，所述衬底设置有一个以上，一个以上的衬底在基台主体上等间距设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖佳，王猛，
申请(专利权)人：北京左文科技有限公司，
类型：新型
国别省市：