下载一种制备超薄金刚石声学振膜的方法的技术资料

文档序号:46063368

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本发明公开了一种制备超薄金刚石声学振膜的方法,属于金刚石应用领域。包括以下步骤:S1:对基底材料进行加工处理,形成声学振膜需要的三维形状;S2:在基底材料上沉积金刚石薄膜;S3:将金刚石薄膜从基底材料上剥离;S4:将剥离掉的金刚石材料通过静...
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