一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器及其制备方法，属于涂层材料技术领域，包括由内至外依次设置的结晶诱导层、支撑层、压电功能层和保护层，所述压电功能层为(002)取向的柱状晶ZnCrVO涂层。本发明专利技术的有益效果是：将Cr和V共同掺杂到ZnO压电涂层中形成ZnCrVO复合压电薄膜，使涂层具有比常规ZnO压电涂层更好的硬度、耐温、耐磨和韧性；涂层中Cr和V的添加使ZnO在高温时结构稳定，降低元素扩散速率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涂层材料，具体而言，涉及一种zncrvo压电薄膜超声传感器及其制备方法。

技术介绍

1、螺栓是制造业以及国防不可缺少的紧固件，它具有拆装和维修方便、可被重新紧固防松且可以避免被连接件的材料发生相变等优点。高强度螺栓进行连接，由于受机件或装备螺栓质量和安装方面的影响，设备事故常有发生。在安装过程中，如果螺栓预载荷超过了范围上限，螺栓会发生塑性变形，甚至被拉断；如果螺栓预载荷小于范围下限，两连接部件中间会产生缝隙，在运行过程中，特别是恶劣工况时，机件的应力比正常时增加，造成螺栓发生脆性断裂。螺栓的紧固程度直接关系着机件或装备的使用寿命。

2、螺栓预紧力就是在拧螺栓过程中拧紧力矩作用下的螺栓与被联接件之间产生的沿螺栓轴心线方向的预紧力。对于一个特定的螺栓而言，其预紧力的大小与螺栓的拧紧力矩、螺栓与螺母之间的摩擦力、螺母与被联接件之间的摩擦力相关。预紧可以提高螺栓连接的可靠性、防松能力和螺栓的疲劳强度，增强连接的紧密性和刚性。事实上，大量的试验和使用经验证明：较高的预紧力对连接的可靠性和被连接的寿命都是有益的，特别对有密封要求的连接更为必本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器，其特征在于，包括由内至外依次设置的结晶诱导层、支撑层、压电功能层和保护层，所述压电功能层为(002)取向的柱状晶ZnCrVO涂层。

2.根据权利要求1所述的一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器，其特征在于，所述压电功能层为Cr和V共掺杂的ZnO涂层，按原子数百分含量计，其中Cr的含量为1-15at.％，V的含量为1-10at.％，且Cr/V<2。

3.根据权利要求1所述的一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器，其特征在于，所述结晶诱导层为纯金属Ti层。

4.根据权利要求3所述的一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器，...

【技术特征摘要】

1.一种zncrvo压电薄膜超声传感器，其特征在于，包括由内至外依次设置的结晶诱导层、支撑层、压电功能层和保护层，所述压电功能层为(002)取向的柱状晶zncrvo涂层。

2.根据权利要求1所述的一种zncrvo压电薄膜超声传感器，其特征在于，所述压电功能层为cr和v共掺杂的zno涂层，按原子数百分含量计，其中cr的含量为1-15at.％，v的含量为1-10at.％，且cr/v<2。

3.根据权利要求1所述的一种zncrvo压电薄膜超声传感器，其特征在于，所述结晶诱导层为纯金属ti层。

4.根据权利要求3所述的一种zncrvo压电薄膜超声传感器，其特征在于，所述结晶诱导层为(002)取向的ti纳米晶层，纳米晶尺度为10-100纳米。

5.根据权利要求1所述的一种zncrvo压电薄膜超声传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈妮娜，张乃文，黄家辉，
申请(专利权)人：武汉珈联传感科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：