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本发明公开了一种ZnCrVO压电薄膜超声传感器及其制备方法，属于涂层材料技术领域，包括由内至外依次设置的结晶诱导层、支撑层、压电功能层和保护层，所述压电功能层为(002)取向的柱状晶ZnCrVO涂层。本发明的有益效果是：将Cr和V共同掺杂到...
该专利属于武汉珈联传感科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉珈联传感科技有限责任公司授权不得商用。

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