一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构制造技术

本技术公开了一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构，涉及半导体设备技术领域；包括：波纹管端盖圆盘，套接在SPINDLE主轴上；波纹管组件，位于波纹管端盖圆盘下面且固定在主体框架上；铜管，内部通入有冷却水，位于波纹管组件下面且盘绕在主体框架上；上部防护罩，位于铜管下面且固定在主体框架上；下部活动护罩，位于上部防护罩下面；下部固定护罩，固定在主体框架上，且与下部活动护罩开合相连，两者对接后形成圆筒形结构。其上部防护罩设计为弧形结构，紧密贴合主体框架，进一步优化了空间利用。而下部则创新地结合了固定护罩与活动护罩，两者均呈半圆形并通过铰链相连，有效减少了空间占用，还便于内部组件的拆卸与维护。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种半导体设备内spindle主轴的外形结构。

技术介绍

1、针对当前半导体镀膜设备下腔体配套部件繁多、安装空间受限的挑战，急需对各个配件进行优化设计，确保它们既微小紧凑又便于拆卸维修。其中，半导体设备内的spindle主轴作为实现升降及旋转功能的核心部件，其重要性不言而喻。然而，现有spindle主轴的外形偏方形，显著增加了空间占用，同时接线位置的插线后也额外占用了空间，进一步加剧了安装空间的紧张状况。

技术实现思路

1、本技术的目的在于，提供了一种spindle主轴的外形结构，不仅显著减少了其外形所占用的空间，极大地提升了维修时的便捷性，有效减少了走线所需的额外空间。

2、为实现上述目的，本申请提出一种spindle主轴的外形结构，包括：

3、波纹管端盖圆盘，套接在spindle主轴上；

4、波纹管组件，位于波纹管端盖圆盘下面且固定在主体框架上；

5、铜管，内部通入有冷却水，位于波纹管组件下面且盘绕在主体框架上；

6本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，所述下部固定护罩一侧设有凹槽，接线头从该凹槽内引出，实现电器连接。

3.根据权利要求1所述一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，所述主体框架呈圆柱形。

4.根据权利要求1所述一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，所述下部活动护罩与下部固定护罩通过铰链相连。

5.根据权利要求1所述一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，所述SPINDLE主体底座下面设有导电橡胶脚垫。

<p>6.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种spindle主轴的外形结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述一种spindle主轴的外形结构，其特征在于，所述下部固定护罩一侧设有凹槽，接线头从该凹槽内引出，实现电器连接。

3.根据权利要求1所述一种spindle主轴的外形结构，其特征在于，所述主体框架呈圆柱形。

4.根据权利要求1所述一种spindle主轴的外形结构，其特征在于，所述下部活动护罩与下部固定护罩通过铰链相连。

5.根据权利要求1所述一种spindle主轴的外形结构，其特征在于，所述spindle主体底座下面设有导电橡胶脚垫。

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【专利技术属性】
技术研发人员：王正国，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：