五维驱动器制造技术

本实用新型专利技术涉及真空设备。五维驱动器，Ｘ向位移板与Ｙ向位移板之间滑动连接，Ｘ向位移板或Ｙ向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有Ｘ向和Ｙ向调整装置，Ｘ向位移板或Ｙ向位移板与波纹管一端焊接，Ｙ向位移板或Ｘ向位移板与装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与Ｘ向位移板或Ｙ向位移板之间装有Ｚ向调整螺杆。本实用新型专利技术可实现在超高真空环境下的五维立体驱动，是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入的重要手段。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

五维驱动器一、
本技术涉及超高真空设备，特别是超高真空驱动设备。
技术介绍
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，但是要求在大气侧进行操作，达到控制真空环境中样品的目的，特别是样品需要做三维以上多维操纵时，目前尚无成型的一体设备可以实现。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题，提供一种五维驱动器，结构简单，操作简便，实现超高真空环境中的XYZ和两个倾角的五维立体驱动。 本技术为实现上述目的所采用的技术方案是五维驱动器，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，Y向位移板或X向位移板装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。 所述法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有导向杆，导向杆平行于Z向调整螺杆。 所述X向和Y向调整装置为微分头旋钮轴套装在限位块轴孔中，微分头旋钮轴和限位块分别安装在相邻的位移板上。 所述X向位移板、Y向位移板和压板之间带有导向滑槽滑动连接。 所述旋转驱动器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。 所述真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连接法兰板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定法兰与外管固定连接。 所述驱动杆自转轴端头固定安装把手，把手上装有定位螺钉。 本技术五维驱动器，可实现在超高真空环境下的五维立体驱动，是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入的重要手段。Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，并使得Z方向直线驱动顺畅，X、 Y向采用直线滑轨，使得X、 Y向驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制，法兰采用金属刀口法兰，适合超高真空密封，和真空接触的部件，全部采用不锈钢部件，有利于维持超高真空。 样品架中心由金属小球支撑，一端用弹簧拉紧，其余两端由导入棒推动。导入棒的直线驱动使得样品架以中心为支点做倾角偏转，倾角的驱动不需要位移台的整体偏转。导入棒的驱动靠外部的两个旋转导入器来实现。旋转导入器的旋转驱动通过螺丝转变为直线驱动。由于是中空构造，可向超高真空中导入各种要素，比如样品架，电流和气体等。附图说明 图1是本技术五维驱动器示意图。 图2是本技术剖视图。 图3是本技术旋转驱动器结构示意图。具体实施方式 如图1、2所示的五维驱动器，X向位移板5与Y向位移板6之间通过导向滑槽滑动连接，Y向位移板6与压板7之间通过导向滑槽滑动连接，并分别装有X向调整装置8和Y向调整装置9(如图2) ， X向调整装置8为微分头10旋转套装有轴ll，轴套装在限位块12轴孔中，微分头的轴11与连接件13固定连接，连接件旋转安装在固定块14内，固定块固定安装在X向位移板5上，限位块12安装在Y向位移板上，Y向调整装置结构同X向调整装置，为微分头15旋转套装有轴ll，轴套装在限位块12轴孔中，微分头的轴11与连接件固定连接，连接件旋转安装在固定块内，固定块14固定安装在Y向位移板上，限位块12安装在压板7上，X向位移板5与波纹管16 —端通过法兰4连接，波纹管另一端与法兰盘1焊接，压板7螺纹连接Z向调整螺杆17， Z向调整螺杆端头带有调整把手，法兰盘1与压板之间平行于Z向调整螺杆装有导向杆18。 X向位移板5上通过连接法兰3装有两个旋转驱动器2，两个旋转驱动器2导入棒18端头分别与样品架21两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠19与连接杆20端头连接。 旋转驱动器结构如图3所示，外管22内装有波纹管23、驱动杆24和导入棒18，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰25上，另一端焊接在真空设备连接法兰26上，真空设备连接连接固定法兰27实现与外管22焊接固定，真空设备连接法兰中心孔内通过轴承安装导入棒18自转轴，外管22另一端通过轴承安装驱动杆24自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰25两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心，驱动杆24自转轴端头固定安装把手28，操作方便，把手上装有定位螺钉29，旋转到设定位置后旋紧定位螺钉。 旋转前后方向把手，带动台型螺丝棒旋转，从而实现Z方向的直线驱动。台型螺丝棒的两端有两个直线诱导棒，实现直线驱动时的同心运动。通过两个微分头的驱动，实现XY的水平驱动，驱动精度可达O. 02mm。样品架中心由钢珠(金属小球)支撑，钢珠通过弹簧与连接杆连接，其余两端由导入棒推动，导入棒的直线驱动通过旋转导入器来完成，导入棒的直线驱动使得样品架以中心钢珠为支点做倾角偏转。本文档来自技高网...

【技术保护点】
五维驱动器，其特征是：Ｘ向位移板与Ｙ向位移板之间滑动连接，Ｘ向位移板或Ｙ向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有Ｘ向和Ｙ向调整装置，Ｘ向位移板或Ｙ向位移板与波纹管一端焊接，Ｙ向位移板或Ｘ向位移板装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与Ｘ向位移板或Ｙ向位移板之间装有Ｚ向调整螺杆。

【技术特征摘要】
五维驱动器，其特征是X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，Y向位移板或X向位移板装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。2. 根据权利要求1所述的五维驱动器，其特征是法兰盘与X向位移板或Y向位移板 之间装有导向杆，导向杆平行于Z向调整螺杆。3. 根据权利要求1所述的五维驱动器，其特征是X向和Y向调整装置为微分头旋钮轴 套装在限位块轴孔中，微分头旋钮轴和限位块分别安装在相邻的位移板上。4. 根据权利要求1-3任一所述的五维驱动器，其特征是X向位移板、Y向位移板和压 板之间带有导向滑槽滑动连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：91[中国|大连]