籽晶夹具制造技术

本技术属于晶体生长技术领域，具体涉及一种籽晶夹具，本籽晶夹具包括：石墨卡槽，其下表面开设有籽晶内孔；连接杆，其下端部与石墨卡槽同轴相连；以及锥度配合体，与连接杆的上端部同轴相连；其中所述石墨卡槽的侧壁上设置有限位组件，以对籽晶内孔中的籽晶进行限位，本籽晶夹具通过将限位组件伸入籽晶内孔内对籽晶进行限位，从而提高了籽晶的稳固性；并且通过设置粘连板，使籽晶与粘连板之间通过粘接剂相连，使得在籽晶生长完成后便于分离。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶体生长，具体涉及一种籽晶夹具。

技术介绍

1、在液相法生长碳化硅晶体的技术中，所用籽晶为4吋或6吋的圆形籽晶，固定方式一般为通过耐高温快速粘接剂与相应尺寸的石墨籽晶托进行粘合。

2、但是，在采用小籽晶生长的过程中，因籽晶的接触面很小，只采用粘接剂的方式无法稳定的固定籽晶。

3、因此，如何解决只采用粘接剂的方式无法稳定固定小籽晶的问题，是本领域技术人员亟需解决的。

4、需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的
技术介绍
，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、本公开实施例至少提供一种籽晶夹具。

2、本实施例公开了一种籽晶夹具，其包括：石墨卡槽，其下表面开设有籽晶内孔；连接杆，其下端部与石墨卡槽同轴相连；以及锥度配合体，与连接杆的上端部同轴相连；其中所述石墨卡槽的侧壁上设置有限位组件，对籽晶内孔中的籽晶进行限位。

3、在其中一种实施例中，所述限位组件包括：若干贯穿孔以及若干顶丝；其中所述贯穿孔开设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种籽晶夹具，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

3.如权利要求2所述的籽晶夹具，其特征在于，

4.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

5.如权利要求4所述的籽晶夹具，其特征在于，

6.如权利要求5所述的籽晶夹具，其特征在于，

7.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

8.如权利要求7所述的籽晶夹具，其特征在于，

9.如权利要求8所述的籽晶夹具，其特征在于，

10.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种籽晶夹具，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

3.如权利要求2所述的籽晶夹具，其特征在于，

4.如权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，

5.如权利要求4所述的籽晶夹具，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：丁言国，尹祖荣，钱昊，王晗，王欣，柯尊斌，陆敏，
申请(专利权)人：常州臻晶半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：

全部详细技术资料下载 我是这个专利的主人