下载籽晶夹具的技术资料

文档序号:45514914

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术属于晶体生长技术领域,具体涉及一种籽晶夹具,本籽晶夹具包括:石墨卡槽,其下表面开设有籽晶内孔;连接杆,其下端部与石墨卡槽同轴相连;以及锥度配合体,与连接杆的上端部同轴相连;其中所述石墨卡槽的侧壁上设置有限位组件,以对籽晶内孔中的籽晶进...
该专利属于常州臻晶半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州臻晶半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。