【技术实现步骤摘要】
本技术涉及静电吸盘，具体为一种静电卡盘基座加工密封工装。
技术介绍
1、静电卡盘主要由电介质层、直流电极和射频电极等部分组成。其中，电介质层通常采用陶瓷材料，如氮化铝，具有良好的导热性能。直流电极镶嵌在电介质层中，用于接通高压直流电源。射频电极则提供晶片处理过程中所需的射频偏置功率，而这一系列部件都是安装在基座上。
2、一般静电卡盘的基座都是铝基材质，通过机床分别加工形成其内部冷却通道，然后通过扩散连接、真空钎接或者电子束焊相互连接，然后再加工连接孔洞，最后再将上表面通过磨床磨皮形成基座，基座上一般设有贯穿的顶杆孔洞，后期内部安装顶杆用于将上表面工件顶起方便下料，还有贯穿的透气孔，以及非贯穿的dc连接孔以及冷却通道连接孔，在基座磨削过程中，将基座固定在磨床上，通过砂轮进行磨削，过程中不断在基座上喷淋磨削液，由于精度较高，磨削量较小使得磨削加工时间较长，而磨削液会对基座产生腐蚀，尤其是对各种孔洞造成腐蚀，使得加工好的孔洞尺寸偏差较大，同时，背面的dc孔洞内会插接有金属材料的插针，磨削液对插针也会造成腐蚀，同时若磨削液渗入到插针...
【技术保护点】
1.一种静电卡盘基座加工密封工装，其特征在于：包括一个圆柱形底座（1），所述底座（1）上设有与基座对应的螺栓孔，所述底座（1）内部中空形成一个空腔，空腔内设有多个顶针（2），所述顶针（2）与基座上贯穿的孔洞大小和位置一一对应，当所述底座（1）与基座螺栓连接时，所述顶针（2）插入基座的孔洞内，所述底座与基座连接处还设有涂覆有防水胶（3），所述底座外壁设有硬氧膜层（4）；
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘基座加工密封工装，其特征在于：所述底座（1）上表面设有环形凹槽，环形凹槽内设有密封垫（5），所述密封垫（5）与所述底座（1）上表面高度差为0-2mm，且所...
【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘基座加工密封工装，其特征在于：包括一个圆柱形底座（1），所述底座（1）上设有与基座对应的螺栓孔，所述底座（1）内部中空形成一个空腔，空腔内设有多个顶针（2），所述顶针（2）与基座上贯穿的孔洞大小和位置一一对应，当所述底座（1）与基座螺栓连接时，所述顶针（2）插入基座的孔洞内，所述底座与基座连接处还设有涂覆有防水胶（3），所述底座外壁设有硬氧膜层（4）；
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘基座加工密封工装，其特征在于：所述底座（1）上表面设有环形凹槽，环形凹槽内设有密封垫（5），所述密封垫（5）与所述底座（1）上表面高度差为0-2mm，且所述环形凹槽和所述密封垫（5）至少为一个。
3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘基座加工密封工装，其特征在于：所述底座（1）内空腔内设有圆环（6），将...
【专利技术属性】
技术研发人员：费珂，王良，
申请(专利权)人：无锡宜恰高技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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