超高真空旋转导入器制造技术

本实用新型专利技术涉及真空设备。超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。本实用新型专利技术超高真空旋转导入器是实现超高真空环境中样品精确旋转驱动的重要手段。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空设备，特别是其配套的导入器。
技术介绍
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开 对样品的传输和操纵。样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求 的密封性高，操纵都需要在大气侧进行，很多情况样品需要按轴线圆 周运动导入，而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性 能，以保证真空环境，目前的旋转导入装置驱动复杂，精度有待提高， 而且均是刚性部件，密封性能差。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述不足问题，提供一种超高真空旋转 导入器，结构简单，旋转的角度和方向无限制，密封效果佳。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是超高真空旋转 导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由 轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰 上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有 外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动 法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和 导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。所述真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外筒连接套一体构成， 轴套一端连接法兰板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定 法兰与外管固定连接。所述驱动杆自转轴端头固定安装把手，把手上装有定位螺钉。 本技术超高真空旋转导入器是实现超高真空环境中样品精 确旋转驱动的重要手段。其结构简单，通过驱动杆和导入棒平行轴心 线一体结构设计，轻松实现旋转，采用成型波纹管端头可动法兰在大气和真空一侧分别安装一个轴承，起到内外旋转传递的目的，波纹管 密封效果佳，使得旋转驱动顺畅、自由，和真空接触的部件全部采用 不锈钢材料，达到放出气体少的要求，有利于维持超高真空，可耐高 温烘烤，而且旋转角度位置可以控制，采用金属刀口法兰，适合超高 真空的密封。附图说明图l是本技术结构示意图。图2是本技术真空设备连接法兰结构示意图。图3是本技术可动法兰结构示意图。图4是本技术驱动杆结构示意图。图5是本技术导入棒结构示意图。图中1导入棒；2真空设备连接法兰；3固定法兰；4可动法兰；5外管；6把手；7定位螺钉；8驱动杆；9轴承；10波纹管； ll导入棒自转轴；12导入棒绕转轴；13法兰板；14轴套；15外筒 连接套；16驱动杆自转轴；17驱动杆绕转轴。具体实施方式如图1所示的超高真空旋转导入器，外管5内装有波纹管10、 驱动杆8和导入棒1，驱动杆8和导入棒1均由轴心线平行的自转轴 和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰4上，另一端焊接在 真空设备连接法兰2上，真空设备连接法兰由法兰板13、轴套14和 外筒连接套15 —体构成，轴套一端连接法兰板，另一端连接外筒连 接套，外筒连接套通过固定法兰3与外管焊接固定，真空设备连接法 兰2中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴11，外管另一端通过轴承9 安装驱动杆自转轴16，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动 法兰4两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴 17和导入棒绕转轴12，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心，驱动 杆自转轴端头固定安装把手6，操作方便，把手6上装有定位螺钉7， 旋转到设定位置后旋紧定位螺钉。使用时转动把手，通过旋转把手使驱动杆自转轴转动，同时驱动 杆绕转轴以自转轴轴心线为中心绕转，可动法兰和波纹管随驱动杆绕 转，同时可动法兰带动导入棒绕转轴绕转，驱动超高真空内部的导入 棒自转轴转动，波纹管和可动法兰实现超高真空和外部空气的分离。权利要求1、超高真空旋转导入器，其特征是超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。2、 根据权利要求1所述的超高真空旋转导入器，其特征是真 空设备连接法兰由法兰板、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连 接法兰板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定法兰与外管 固定连接。3、 根据权利要求1或2所述的超高真空旋转导入器，其特征是 驱动杆自转轴端头固定安装把手，把手上装有定位螺钉。专利摘要本技术涉及真空设备。超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。本技术超高真空旋转导入器是实现超高真空环境中样品精确旋转驱动的重要手段。文档编号B01J3/02GK201384944SQ20092001104公开日2010年1月20日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日专利技术者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
超高真空旋转导入器，其特征是：超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭方准，
申请(专利权)人：大连齐维科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：91[中国|大连]