用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质技术

技术编号:44996962 阅读:16 留言:0更新日期:2025-04-15 17:10
本申请公开了一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质。该方法包括:沿预设方向逐次调节所述扫描电镜的聚焦值,并采集每次调节聚焦值形成的图像,以获得多张图像;采用预设全局梯度差异算法计算各图像的清晰度,以获得多个图像清晰度;以及基于所述逐次调节的聚焦值和所述多个图像清晰度,利用梯度下降法和/或遍历法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值,以完成对所述扫描电镜的聚焦。利用本申请的方案,可以适应复杂噪声和多样化样品环境下的图像清晰度评估,具有较高的鲁棒性和精度。

【技术实现步骤摘要】

本申请一般涉及图像处理。更具体地,本申请涉及一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和计算机可读存储介质。


技术介绍

1、在现代显微技术中,自动聚焦算法是获取清晰显微图像的关键技术,它使得显微视觉系统能够在医学研究、电子芯片制造、生物工程等多个科学领域得到广泛的应用。该技术通过接收物体反射光线并利用传感器与成像设备内部的计算处理,自动控制聚焦机制,确保图像在探测器上的清晰呈现。

2、自动聚焦技术的性能由以下两个关键因素决定:图像清晰度评价方法,基于图像方差和梯度对图像的清晰度进行评价;迭代优化策略,通过不断调整聚焦值来找到最佳聚焦点。现有的自动聚焦方法通常采用粗略焦点定位与精细焦点定位的组合策略。然而,当初始聚焦点位置偏离理想焦点较远时,粗略焦点定位的搜索步数显著增加,导致自动聚焦效率大幅降低。虽然可以通过手动增大聚焦步长,减少搜索步数来加快速度,但是如何判断初始聚焦点位置较远又成为另一个难题。此外,扫描电镜成像中图像噪声复杂且样品种类多样,现有基于图像方差和梯度的图像清晰度评价方法在这种复杂环境下表现不佳,难以应对不同样品的多变特性与复杂噪本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,采用预设全局梯度差异算法计算图像的清晰度包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其中,利用梯度下降法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值包括:

4.根据权利要求3所述的方法,还包括:

5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,基于所述逐次调节的聚焦值和所述多个图像清晰度,利用所述梯度下降法确定下次调节的目标聚焦值包括:

6.根据权利要求1所述的方法,其中,利用遍历法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值包括:

7.根据权利要求6所述的方法,其中,在所...

【技术特征摘要】

1.一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,采用预设全局梯度差异算法计算图像的清晰度包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其中,利用梯度下降法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值包括:

4.根据权利要求3所述的方法,还包括:

5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,基于所述逐次调节的聚焦值和所述多个图像清晰度,利用所述梯度下降法确定下次调节的目标聚焦值包括:

6.根据权利要求1所述的方法,其中,利用遍历法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值包括:

7.根据权利要求6所述的方法,其中,在所述最大图像清晰度对应所述逐次调节中...

【专利技术属性】
技术研发人员:焦扬聂莉许涛
申请(专利权)人:惠然科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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