下载用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质的技术资料

文档序号:44996962

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本申请公开了一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质。该方法包括:沿预设方向逐次调节所述扫描电镜的聚焦值,并采集每次调节聚焦值形成的图像,以获得多张图像;采用预设全局梯度差异算法计算各图像的清晰度,以获得多个图像清晰度;以及基于...
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