【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅环抛光领域，尤其涉及一种硅环的全自动镜面抛光装置。
技术介绍
1、硅环用于在晶圆的加工过程中承载晶圆，不同工艺中所用到的硅环厚度不同，因此在硅环的生产制备中需要通过抛光机构在硅环的背面进行打磨从而减薄硅环的厚度，在打磨时需要先经过粗磨加快打磨的速度，然后再经过精磨达到需要的厚度；
2、专利：cn221792005u公开了一种单晶硅环的打磨减薄装置，包括机架，机架上通过横向移动机构安装有移动架，移动架上通过竖向移动机构安装有升降架，升降架上转动安装有转动架，转动架通过第一旋转驱动机构驱动转动，转动架上竖向安装有两个第一旋转电机，两个第一旋转电机沿着转动架的转动中心进行对称设置，第一旋转电机的输出轴朝下固定设有安装板，两个安装板上分别安装精磨头以及粗磨头，转动架的下方设有转动安装于机架上的旋转台，旋转台通过第二旋转机构驱动转动，旋转台上设有若干吸附孔，吸附孔连接有真空发生器，转动架上安装有与旋转台对应的红外测距仪，从而在同一台设备上同时具有了粗磨以及精磨的功能，可以减少设备的投入成本；
3、上述技术中精磨头和粗磨头需要两个电机分别控制转动进行打磨，且打磨时需要通过电动推杆反复推动增大打磨范围，并且上述技术中不能够对硅环表面抛光产生的碎屑进行及时清理，需要进行改进，为此我们提出了一种硅环的全自动镜面抛光装置。
技术实现思路
1、专利技术目的：本专利技术的目的在于提供精磨头和粗磨头只需单个电机控制转动进行打磨，且打磨时不需要通过电动推杆反复推动增大打
2、技术方案：一种硅环的全自动镜面抛光装置，包括有抛光机构，所述抛光机构下方设置有底板，所述底板的上表面右方固定连接有竖板；
3、所述竖板的左侧设置有升降机构；
4、所述底板的上表面左方设置有放置机构；
5、所述底板的左方设置有清理机构；
6、所述抛光机构包括有安装板，所述安装板的下表面通过转轴转动连接有圆柱，所述圆柱的底端固定连接有安装架，所述安装架的上表面开设有两个贯穿式的滑槽一，两个所述滑槽一的相对侧一体成型有收缩槽，所述收缩槽的内部滑动连接有滑动板，两个所述滑动板的相背侧位于两个所述滑槽一的内侧均固定连接有轴套，所述轴套的内侧通过转轴转动连接有轴柱，两个所述轴柱的底端分别固定连接有精磨头和粗磨头，所述轴柱的顶端固定连接有齿轮一；
7、所述安装板的上表面开设有滑槽二，所述滑槽二的内部固定连接有两个滑杆，两个所述滑杆的外侧壁共同滑动连接有l形支架，所述l形支架的内侧固定连接有电机一，所述电机一的输出轴底端固定连接有齿轮二。
8、更进一步的，所述安装板的上表面固定连接有电动推杆一，所述电动推杆一的输出端底端贯穿至所述安装板的下方，且固定连接有拨动柱，所述圆柱的外侧壁开设有螺旋槽，所述拨动柱的后端延伸至所述螺旋槽的内部，且与所述螺旋槽滑动连接。
9、更进一步的，所述滑槽一与所述滑动板之间固定连接有弹簧。
10、更进一步的，所述电机一的输出轴外侧壁固定连接有凸轮，所述凸轮的上表面开设有连接环槽，所述连接环槽的内部滑动连接有连接柱，所述连接柱的顶端与所述安装板一的上表面之间固定连接有l形支杆。
11、更进一步的，所述升降机构包括有固定条，所述固定条的上表面固定连接有电动推杆二，所述电动推杆二的输出端底端贯穿至所述固定条的下方，且固定连接有升降条，所述升降条的左侧与所述安装板的右侧固定连接，所述固定条的右侧与所述竖板的左侧固定连接。
12、更进一步的，所述固定条的下表面固定连接有两个竖杆，所述竖杆的底端贯穿所述升降条，且与所述升降条滑动连接。
13、更进一步的，所述放置机构包括有吸附盘，所述吸附盘的下表面固定连接有真空泵，放置机构的下表面固定连接有轴杆，所述轴杆的下表面与所述底板的上表面通过转轴转动连接，所述轴杆的外侧壁固定连接有齿轮三，所述底板的上表面位于所述轴杆的左方固定连接有电机二，所述电机二的输出轴顶端固定连接有齿轮四，所述齿轮四与所述齿轮三啮合连接。
14、更进一步的，所述清理机构包括有固定头，所述固定头的上表面通过转轴转动连接有螺管，所述螺管的外侧壁固定连接有齿轮五，所述齿轮五与所述齿轮四啮合连接，所述螺管的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的外侧壁固定连接有擦拭条，所述擦拭条的下表面拆卸安装有擦拭棉。
15、更进一步的，所述吸附盘的外侧壁设置有导料座，所述导料座与所述底板之间固定连接有连接座。
16、有益效果：启动真空泵，通过吸附盘吸附硅环，确保硅环打磨时不会轻易活动，通过启动电机二，在齿轮三和齿轮四的啮合下，控制吸附盘进行转动，使得硅环边转动便进行打磨，打磨更加全面；
17、电机二启动，控制吸附盘转动时，齿轮四会通过与齿轮五啮合，带动螺杆和螺管一同转动，从而可以带动擦拭条转动，继而擦拭棉可以对硅环表面进行擦拭，便于实现便打磨边清洁的效果，且螺杆可以从螺管内部伸出，控制擦拭条高度，便于擦拭不同厚度的硅环；
18、控制电动推杆一伸出或者收缩，此时会通过拨动柱和螺旋槽，拨动圆柱底端的安装架转动，从而控制粗磨头的齿轮一或者精磨头底端的齿轮一与齿轮二啮合，从而可以单独控制精磨头或者粗磨头转动打磨；
19、电机一启动，控制精磨头或者粗磨头转动打磨时，凸轮转动过程中可以反复挤压推动电机一左右反复移动，此时在弹簧的推动下，齿轮二和齿轮一可以始终处于啮合状态，同时此时与齿轮二啮合的齿轮一受到推动可以做左右反复移动，从而可以带动粗磨头或者精磨头左右反复移动，增大打磨范围。
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1.一种硅环的全自动镜面抛光装置，包括有抛光机构(1)，其特征在于：所述抛光机构(1)下方设置有底板(2)，所述底板(2)的上表面右方固定连接有竖板(3)；
2.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述安装板(101)的上表面固定连接有电动推杆一(117)，所述电动推杆一(117)的输出端底端贯穿至所述安装板(101)的下方，且固定连接有拨动柱(118)，所述圆柱(102)的外侧壁开设有螺旋槽(119)，所述拨动柱(118)的后端延伸至所述螺旋槽(119)的内部，且与所述螺旋槽(119)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述滑槽一(104)与所述滑动板(106)之间固定连接有弹簧(120)。
4.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述电机一(115)的输出轴外侧壁固定连接有凸轮(121)，所述凸轮(121)的上表面开设有连接环槽(122)，所述连接环槽(122)的内部滑动连接有连接柱(123)，所述连接柱(123)的顶端与所述安装板一(101)的上
5.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述升降机构(4)包括有固定条(401)，所述固定条(401)的上表面固定连接有电动推杆二(402)，所述电动推杆二(402)的输出端底端贯穿至所述固定条(401)的下方，且固定连接有升降条(403)，所述升降条(403)的左侧与所述安装板(101)的右侧固定连接，所述固定条(401)的右侧与所述竖板(3)的左侧固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述固定条(401)的下表面固定连接有两个竖杆(404)，所述竖杆(404)的底端贯穿所述升降条(403)，且与所述升降条(403)滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述放置机构(5)包括有吸附盘(501)，所述吸附盘(501)的下表面固定连接有真空泵(502)，放置机构(5)的下表面固定连接有轴杆(503)，所述轴杆(503)的下表面与所述底板(2)的上表面通过转轴转动连接，所述轴杆(503)的外侧壁固定连接有齿轮三(504)，所述底板(2)的上表面位于所述轴杆(503)的左方固定连接有电机二(505)，所述电机二(505)的输出轴顶端固定连接有齿轮四(506)，所述齿轮四(506)与所述齿轮三(504)啮合连接。
8.根据权利要求7所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述清理机构(6)包括有固定头(601)，所述固定头(601)的上表面通过转轴转动连接有螺管(602)，所述螺管(602)的外侧壁固定连接有齿轮五(603)，所述齿轮五(603)与所述齿轮四(506)啮合连接，所述螺管(602)的内部螺纹连接有螺杆(604)，所述螺杆(604)的外侧壁固定连接有擦拭条(605)，所述擦拭条(605)的下表面拆卸安装有擦拭棉(606)。
9.根据权利要求7所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述吸附盘(501)的外侧壁设置有导料座(7)，所述导料座(7)与所述底板(2)之间固定连接有连接座(8)。
...【技术特征摘要】
1.一种硅环的全自动镜面抛光装置，包括有抛光机构(1)，其特征在于：所述抛光机构(1)下方设置有底板(2)，所述底板(2)的上表面右方固定连接有竖板(3)；
2.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述安装板(101)的上表面固定连接有电动推杆一(117)，所述电动推杆一(117)的输出端底端贯穿至所述安装板(101)的下方，且固定连接有拨动柱(118)，所述圆柱(102)的外侧壁开设有螺旋槽(119)，所述拨动柱(118)的后端延伸至所述螺旋槽(119)的内部，且与所述螺旋槽(119)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述滑槽一(104)与所述滑动板(106)之间固定连接有弹簧(120)。
4.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述电机一(115)的输出轴外侧壁固定连接有凸轮(121)，所述凸轮(121)的上表面开设有连接环槽(122)，所述连接环槽(122)的内部滑动连接有连接柱(123)，所述连接柱(123)的顶端与所述安装板一(101)的上表面之间固定连接有l形支杆(124)。
5.根据权利要求1所述的一种硅环的全自动镜面抛光装置，其特征在于：所述升降机构(4)包括有固定条(401)，所述固定条(401)的上表面固定连接有电动推杆二(402)，所述电动推杆二(402)的输出端底端贯穿至所述固定条(401)的下方，且固定连接有升降条(403)，所述升降条(403)的左侧与所述安装板(101)的右侧固定连接，所述固定条(401)的右侧与所述竖板(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：李祥永，顾曹鑫，赵佑晨，
申请(专利权)人：浙江圆芯半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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