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本发明公开了一种硅环的全自动镜面抛光装置，属于硅环抛光领域。包括有抛光机构，所述抛光机构下方设置有底板，所述底板的上表面右方固定连接有竖板；所述竖板的左侧设置有升降机构；所述底板的上表面左方设置有放置机构；所述底板的左方设置有清理机构；所述...
该专利属于浙江圆芯半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江圆芯半导体材料有限公司授权不得商用。

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