基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质技术方案

本发明专利技术公开了一种基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质，其中，系统包括：样品室；电子枪；机械泵组，机械泵组包括机械泵和分子泵；分子筛吸气泵；多个离子泵组，每个离子泵组均包括至少一个标准离子泵和至少一个待测离子泵；真空度监测装置和束流监测装置。由此，改变分子筛吸气泵和多个离子泵组的接入方式，通过分子筛吸气泵将样品室与电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，以实现对真空度检测装置的校准，并确保测试过程中各项参数的一致性，以提高束流监测装置的监测结果准确性，从而，基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设计离子泵测试，尤其涉及一种基于电镜成像的离子泵测试系统、一种基于电镜成像的离子泵测试方法和一种计算机可读存储介质。

技术介绍

1、目前，通常基于中国机械行业标准jb/t 2765-92溅射离子泵性能测试方法对各个离子泵的真空稳定性进行测试，然而，该测试方式存在以下不足：1、测量精度有限：该标准方法依赖于传统的真空计(如热偶规、电离规等)进行计量，这些设备在极高真空范围内的测量精度和稳定性有限；2、动态响应不足：该标准方法无法全面反映溅射离子泵在不同工作条件下的动态响应特性，尤其是在快速变化的气体负载下；3.长时间稳定性难以评估：该标准方法难以全面评估溅射离子泵在长时间运行后的性能变化和稳定性。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的第一个目的在于提出一种基于电镜成像的离子泵测试系统，能够基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。

2、本专利技术的第二个目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述系统包括：

2.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置包括：

3.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述第一阳极的下端呈喇叭型开口，所述第二阳极的上端呈喇叭型开口。

4.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置还包括：

5.根据权利要求4所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述信号分析模块还适于，

6.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述系统包括：

2.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置包括：

3.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述第一阳极的下端呈喇叭型开口，所述第二阳极的上端呈喇叭型开口。

4.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置还包括：

5.根据权利要求4所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述信号分析模块还适于，

6.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述至少一个标准离子泵和所述至少一个待测离子泵通过y型三通管道与所述样品室或所述电子枪真空腔室相连。

7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨驰，孙永静，姚一帆，曹峰，张伟，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：