【技术实现步骤摘要】
本专利技术设计离子泵测试，尤其涉及一种基于电镜成像的离子泵测试系统、一种基于电镜成像的离子泵测试方法和一种计算机可读存储介质。
技术介绍
1、目前，通常基于中国机械行业标准jb/t 2765-92溅射离子泵性能测试方法对各个离子泵的真空稳定性进行测试，然而，该测试方式存在以下不足：1、测量精度有限：该标准方法依赖于传统的真空计(如热偶规、电离规等)进行计量，这些设备在极高真空范围内的测量精度和稳定性有限；2、动态响应不足：该标准方法无法全面反映溅射离子泵在不同工作条件下的动态响应特性，尤其是在快速变化的气体负载下；3.长时间稳定性难以评估：该标准方法难以全面评估溅射离子泵在长时间运行后的性能变化和稳定性。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的第一个目的在于提出一种基于电镜成像的离子泵测试系统，能够基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。
2、本专利技术的第二个目的在于提出一种基于电镜成像的离子泵测试方法。
3、本专利技术的第三个目的在于提出另一种基于电镜成像的离子泵测试方法。
4、本专利技术的第四个目的在于提出又一种基于电镜成像的离子泵测试方法。
5、本专利技术的第五个目的在于提出一种计算机可读存储介质。
6、为达到上述目的，本专利技术第一方面实施例提出的基于电镜成像的离子泵测试系统，包括
7、根据本专利技术实施例的基于电镜成像的离子泵测试系统，能够改变分子筛吸气泵和多个离子泵组的接入方式，通过分子筛吸气泵将样品室与电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，以实现对真空度检测装置的校准，并确保测试过程中各项参数的一致性，以提高束流监测装置的监测结果准确性，从而，基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。
8、另外，根据本专利技术上述实施例的基于电镜成像的离子泵测试系统，还可以具有如下的附加技术特征：
9、根据本专利技术的一个实施例，所述束流监测装置包括：带电粒子束发射源，所述带电粒子束发射源与高压阴极相连，适于产生带电粒子；引出电极，所述引出电极包括第一阳极和第二阳极，所述第一阳极与所述高压阳极相连，适于将所述带电粒子引出形成所述发射束流，所述第二阳极的上端对应所述第一阳极的下端设置，所述第二阳极适于使所述发射束流聚焦；第一电流计，所述第一电流计与所述第一阳极相连，适于监测所述第一阳极的引出电流；电源控制模块，适于调节所述第一阳极的电压并采集所述第一电流计的引出电流对应的监测信号；信号分析模块，适于根据所述第一电流计的引出电流对应的监测信号生成所述束流参数。
10、根据本专利技术的一个实施例，所述第一阳极的下端呈喇叭型开口，所述第二阳极的上端呈喇叭型开口。
11、根据本专利技术的一个实施例，所述束流监测装置还包括：第二电流计，所述第二电流计与所述带电粒子束发射源相连，适于监测所述带电粒子束发射源的发射电流；所述电源控制模块，还适于调节所述第二阳极的电压并采集所述第二电流计的发射电流对应的监测信号；所述信号分析模块，还适于根据所述第一电流计的引出电流对应的监测信号和所述第二电流计的发射电流对应的监测信号生成所述束流参数。
12、根据本专利技术的一个实施例，所述信号分析模块还适于，对所述第一电流计的引出电流对应的监测信号和所述第二电流计的发射电流对应的监测信号进行频域分析，以找出频域信号相近的第一频段；通过调节所述第一阳极和所述第二阳极的电压，使所述第一电流计的引出电流对应的监测信号的所述第一频段部分的稳定性达到最佳；采集所述第一电流计和所述第二电流计的监测信号，使所述第一电流计的引出电流对应的监测信号与所述第二电流计的引出电流对应的监测信号反向叠加，生成所述束流参数。
13、根据本专利技术的一个实施例，所述至少一个标准离子泵和所述至少一个待测离子泵通过y型三通管道与所述样品室或所述电子枪真空腔室相连。
14、根据本专利技术的一个实施例，所述电镜为透射电镜或扫描电镜。
15、为达到上述目的，本专利技术第二方面实施例提出了一种基于电镜成像的离子泵测试方法，应用于如上述本专利技术实施例所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，所述方法包括：控制所述机械泵组按照预设转速工作，使所述样品室与所述电子枪真空腔室抽真空至预备真空环境；将所述分子筛吸气泵接入所述电子枪真空腔室，使所述样品室与所述电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，并记录所述真空度监测装置的当前读数；将所述多个离子泵组中的至少两个标准离子泵接入所述电子枪真空腔室和所述样品室，并断开所述分子筛吸气泵，以实现对所述至少两个标准离子泵的真空稳定性测试；监测所述电子枪的发射束流，以获取标准离子泵对应的束流参数，所述标准离子泵对应的束流参数用于表征所述至少两个标准离子泵的真空稳定性；断开所述多个离子泵组中的至少两个标准离子泵，使所述样品室与所述电子枪真空腔室恢复至所述预备真空环境；再次将所述分子筛吸气泵接入所述电子枪真空腔室，使所述样品室与所述电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，并修正所述真空度监测装置的当前读数；将所述多个离子泵组中的至少两个待测离子泵接入所述电子枪真空腔室和所述样品室，并断开所述分子筛吸气泵，以实现对所述至少两个待测离子泵的真空稳定性测试；监测所述电子枪的发射束流，以获取待测离子泵对应的束流参数，所述待测离子泵对应的束流参数用于表征所述至少两个待测离子泵的真空稳定性；根据所述标准离子泵对应的束流参数和所述待测离子泵对应的束流参数，实现对至少一个离子泵的真空稳定性测试。
16、根据本专利技术实施例的基于电镜成像的离子泵测试方法，能够基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。
17、为达到上述目的，本专利技术第三方面实施例提出了一种基于电镜成像的离子泵测试方法，应用于如上述本专利技术实施例所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，所述方法包括：将标准样品置入所述样品室，并将所述多个离子泵组中的至少两个标准离子泵接入所述电子枪真空腔室和所述样品室，使所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置包括：
3.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述第一阳极的下端呈喇叭型开口，所述第二阳极的上端呈喇叭型开口。
4.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置还包括：
5.根据权利要求4所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述信号分析模块还适于，
6.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述至少一个标准离子泵和所述至少一个待测离子泵通过Y型三通管道与所述样品室或所述电子枪真空腔室相连。
7.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述电镜为透射电镜或扫描电镜。
8.一种基于电镜成像的离子泵测试方法，其特征在于，应用于如权利要求1-5中任一项所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，所述方法包括：
9.一种基于电镜成像的离子泵
10.一种基于电镜成像的离子泵测试方法，其特征在于，应用于如权利要求1-5中任一项所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，所述方法包括：
11.一种计算机存储介质，其特征在于，其上存储有基于电镜成像的离子泵测试程序，所述基于电镜成像的离子泵测试程序被处理器执行时实现根据权利要求8-10中任一项所述的基于电镜成像的离子泵测试方法。
...【技术特征摘要】
1.一种基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置包括：
3.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述第一阳极的下端呈喇叭型开口，所述第二阳极的上端呈喇叭型开口。
4.根据权利要求2所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述束流监测装置还包括：
5.根据权利要求4所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述信号分析模块还适于，
6.根据权利要求1所述的基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述至少一个标准离子泵和所述至少一个待测离子泵通过y型三通管道与所述样品室或所述电子枪真空腔室相连。
7.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨驰，孙永静，姚一帆，曹峰，张伟，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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