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本发明公开了一种基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质，其中，系统包括：样品室；电子枪；机械泵组，机械泵组包括机械泵和分子泵；分子筛吸气泵；多个离子泵组，每个离子泵组均包括至少一个标准离子泵和至少一个待测离子泵；真空度监测装置和束流监...
该专利属于国仪量子技术（合肥）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国仪量子技术（合肥）股份有限公司授权不得商用。

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