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一种无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源制造技术

技术编号:44761537 阅读:14 留言:0更新日期:2025-03-26 12:44
本发明专利技术公开一种无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,包括:阳极基板,所述阳极基板包括阳极靶和与所述阳极靶连接的阳极电极;阴极基板,所述阴极基板包括多个电子源单元,其中,每一个电子源单元包括无线驱动接收器和冷阴极电子源,所述无线驱动接收器与所述冷阴极电子源连接;隔离体,所述隔离体设置于所述阳极基板和阴极基板间,使所述阳极基板和阴极基板保持预设距离;多个无线驱动发射器,每一个所述无线驱动发射器对应一个所述无线驱动接收器;驱动电路,所述驱动电路与多个所述无线驱动发射器连接。本发明专利技术规避了传统平板X射线源引线多、封装难的缺点,降低了布线复杂度和维护成本,有利于冷阴极平板X射线源的智能化和便携化,具有重要的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及x射线源,更具体地,涉及一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源。


技术介绍

1、冷阴极平板x射线源是近年来开始研究的一种新型x射线源,因其体积小、功耗低、响应速度快、电寻址发光等特点,可实现紧凑的静态ct系统,在医学成像、工业检测等领域有广泛的应用前景。在传统的冷阴极平板x射线源结构中,复杂的栅极结构及其引线容易引起器件放电问题,影响平板x射线源的可靠性和使用寿命。同时器件的阴极基板上的电极引线数量庞大,存在真空封装难度大、布线复杂、引线延时影响器件的响应速度、扫描驱动电路复杂等问题,对平板x射线源的系统集成应用带来难度。


技术实现思路

1、本专利技术提供一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,解决现有技术中由于阴极基板上的电极引线数量庞大导致的布线复杂、引线延时影响器件的响应速度、扫描驱动电路复杂的技术问题。

2、为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案如下:

3、本专利技术提供一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,包括:

4、阳极基板,所述阳极基板包括阳极靶和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阳极基板还包括阳极衬底和阳极保护层,其中:

3.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阳极靶采用包括钨、钼、铬、铝中一种或多种金属薄膜制成。

4.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阴极基板还包括阴极衬底、栅极电极、阴极电极和生长源薄膜,其中:

5.根据权利要求4所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述无线驱动接收器为通过微加...

【技术特征摘要】

1.一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阳极基板还包括阳极衬底和阳极保护层,其中:

3.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阳极靶采用包括钨、钼、铬、铝中一种或多种金属薄膜制成。

4.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阴极基板还包括阴极衬底、栅极电极、阴极电极和生长源薄膜,其中:

5.根据权利要求4所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述无线驱动接收器为通过微加工工艺制作的电感线圈、电容极板或无线驱动电路中的一种。

6.根据权利要求5所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈军康世为邓少芝许宁生
申请(专利权)人:中山大学
类型:发明
国别省市:

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