【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及x射线源,更具体地,涉及一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源。
技术介绍
1、冷阴极平板x射线源是近年来开始研究的一种新型x射线源,因其体积小、功耗低、响应速度快、电寻址发光等特点,可实现紧凑的静态ct系统,在医学成像、工业检测等领域有广泛的应用前景。在传统的冷阴极平板x射线源结构中,复杂的栅极结构及其引线容易引起器件放电问题,影响平板x射线源的可靠性和使用寿命。同时器件的阴极基板上的电极引线数量庞大,存在真空封装难度大、布线复杂、引线延时影响器件的响应速度、扫描驱动电路复杂等问题,对平板x射线源的系统集成应用带来难度。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,解决现有技术中由于阴极基板上的电极引线数量庞大导致的布线复杂、引线延时影响器件的响应速度、扫描驱动电路复杂的技术问题。
2、为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案如下:
3、本专利技术提供一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,包括:
4、阳极基板,所述
...【技术保护点】
1.一种无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阳极基板还包括阳极衬底和阳极保护层,其中:
3.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阳极靶采用包括钨、钼、铬、铝中一种或多种金属薄膜制成。
4.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述阴极基板还包括阴极衬底、栅极电极、阴极电极和生长源薄膜,其中:
5.根据权利要求4所述的无线驱动寻址的冷阴极平板X射线源,其特征在于,所述无线
...【技术特征摘要】
1.一种无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阳极基板还包括阳极衬底和阳极保护层,其中:
3.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阳极靶采用包括钨、钼、铬、铝中一种或多种金属薄膜制成。
4.根据权利要求1所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述阴极基板还包括阴极衬底、栅极电极、阴极电极和生长源薄膜,其中:
5.根据权利要求4所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在于,所述无线驱动接收器为通过微加工工艺制作的电感线圈、电容极板或无线驱动电路中的一种。
6.根据权利要求5所述的无线驱动寻址的冷阴极平板x射线源,其特征在...
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