半导体装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:44709920 阅读:26 留言:0更新日期:2025-03-21 17:41
本发明专利技术的实施方式涉及半导体装置以及半导体装置的制造方法。实施方式的半导体装置具备:半导体部,具备第一主面以及所述第一主面的相反侧的第二主面;表面构造部,设置于所述第一主面,包含第一电极;第二电极,设置于所述第二主面;第一保护树脂膜,覆盖所述表面构造部的上表面;以及第二保护树脂膜,与所述第一保护树脂膜连接,覆盖所述表面构造部的侧面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及半导体装置以及半导体装置的制造方法


技术介绍

1、在mosfet(metal oxide semiconductor field effect transistor:金属氧化物半导体场效应晶体管)等半导体装置中,为了保护布线层、电极等金属部分,进行利用聚酰亚胺树脂等保护树脂膜覆盖金属部分的处理。

2、为了防止在半导体装置的切割工序中产生碎屑、灰尘,通常预先去除切割线上的保护树脂膜。但是,由于曝光发生位置偏移等,有时甚至将覆盖金属部分的侧面的保护树脂膜去除。在这样的情况下,浸入到半导体装置的水分、离子等异物容易到达金属部分,成为半导体装置的可靠性降低的原因。


技术实现思路

1、实施方式的半导体装置具备:半导体部,具备第一主面以及所述第一主面的相反侧的第二主面;表面构造部,设置于所述第一主面,包含第一电极;第二电极,设置于所述第二主面;第一保护树脂膜,覆盖所述表面构造部的上表面;以及第二保护树脂膜,与所述第一保护树脂膜连接,覆盖所述表面构造部的侧面。>

2、根据本专本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体装置,

3.根据权利要求1所述的半导体装置,

4.根据权利要求1所述的半导体装置,

5.根据权利要求4所述的半导体装置,

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7.根据权利要求1所述的半导体装置,

8.根据权利要求1~7中任一项所述的半导体装置,还具备:

9.一种半导体装置的制造方法,包括如下步骤:

10.根据权利要求9所述的半导体装置的制造方法,

11.根据权利要求9或10所述的半导体装置的制造方法,

【技术特征摘要】

1.一种半导体装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体装置,

3.根据权利要求1所述的半导体装置,

4.根据权利要求1所述的半导体装置,

5.根据权利要求4所述的半导体装置,

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄司骏辅
申请(专利权)人:株式会社东芝
类型:发明
国别省市:

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