【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及半导体装置以及半导体装置的制造方法。
技术介绍
1、在mosfet(metal oxide semiconductor field effect transistor:金属氧化物半导体场效应晶体管)等半导体装置中,为了保护布线层、电极等金属部分,进行利用聚酰亚胺树脂等保护树脂膜覆盖金属部分的处理。
2、为了防止在半导体装置的切割工序中产生碎屑、灰尘,通常预先去除切割线上的保护树脂膜。但是,由于曝光发生位置偏移等,有时甚至将覆盖金属部分的侧面的保护树脂膜去除。在这样的情况下,浸入到半导体装置的水分、离子等异物容易到达金属部分,成为半导体装置的可靠性降低的原因。
技术实现思路
1、实施方式的半导体装置具备:半导体部,具备第一主面以及所述第一主面的相反侧的第二主面;表面构造部,设置于所述第一主面,包含第一电极;第二电极,设置于所述第二主面;第一保护树脂膜,覆盖所述表面构造部的上表面;以及第二保护树脂膜,与所述第一保护树脂膜连接,覆盖所述表面构造部的侧面。
>2、根据本专本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体装置,具备:
2.根据权利要求1所述的半导体装置,
3.根据权利要求1所述的半导体装置,
4.根据权利要求1所述的半导体装置,
5.根据权利要求4所述的半导体装置,
6.根据权利要求1所述的半导体装置,
7.根据权利要求1所述的半导体装置,
8.根据权利要求1~7中任一项所述的半导体装置,还具备:
9.一种半导体装置的制造方法,包括如下步骤:
10.根据权利要求9所述的半导体装置的制造方法,
11.根据权利要求9或10所述的半导体装置的制造方法,
【技术特征摘要】
1.一种半导体装置,具备:
2.根据权利要求1所述的半导体装置,
3.根据权利要求1所述的半导体装置,
4.根据权利要求1所述的半导体装置,
5.根据权利要求4所述的半导体装置,
6.根据权利要求1所述的半导体装置,
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