【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英过滤器测试，具体为一种用于测试石英过滤器流量的装置及其方法。
技术介绍
1、石英过滤器由于其具有石英的低膨胀性、耐热性、耐腐蚀等优点而大量的应用在半导体行业，石英过滤器使用在芯片制造工艺中的有些需要缓慢的破真空环境，对腔体内进行缓释气体的环境，石英过滤器的很重要的一个性能指标就是其规定压力下的流量，由于其完成产品的制造后具体的流量测试往往需要在客户处经设备在工艺过程中测试才能进行验证，在设备上进行验证如果不满足工艺要求则造成了工艺产品的废品，这不仅浪费时间而且造成了产品损失，急需一种测试装置和方法来进行石英过滤器出厂前的流量测试。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于测试石英过滤器流量的装置及其方法，解决了现有在设备上运行测试容易产生工艺废品的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种用于测试石英过滤器流量的装置，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源、用于对气体进行一级减压的第一减压器、用于对流入系统管路的气体...
【技术保护点】
1.一种用于测试石英过滤器流量的装置，其特征在于，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源(1)、用于对气体进行一级减压的第一减压器(2)、用于对流入系统管路的气体进行缓冲的缓冲罐(4)、用于对气源中的杂质进行过滤的过滤器(5)、用于精确调节系统的压力的精密减压器(6)、用于读取二级减压后的压力数值的压力变送器(7)、用于控制气体通断的电磁阀(8)、对系统的流量进行调节的调节阀(10)、电子流量计(11)、玻璃转子流量计(12)以及石英过滤器(14)；
2.根据权利要求1所述的一种用于测试石英过滤器流量的装置，其特征在于，所述开断组件包括设于管路上的第一截止阀(...
【技术特征摘要】
1.一种用于测试石英过滤器流量的装置，其特征在于，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源(1)、用于对气体进行一级减压的第一减压器(2)、用于对流入系统管路的气体进行缓冲的缓冲罐(4)、用于对气源中的杂质进行过滤的过滤器(5)、用于精确调节系统的压力的精密减压器(6)、用于读取二级减压后的压力数值的压力变送器(7)、用于控制气体通断的电磁阀(8)、对系统的流量进行调节的调节阀(10)、电子流量计(11)、玻璃转子流量计(12)以及石英过滤器(14)；
2.根据权利要求1所述的一种用于测试石英过滤器流量的装置，其特征在于，所述开断组件包括设于管路上的第一截止阀(3)以及第二截止阀(13)，所述第一截止阀(3)设置于所述第一减压器(2)与所述缓冲罐(4)之间，所述第二截止阀(13)设置于所述石英过滤器(14)以及玻璃转子流量计(12)之间。
3.根据权利要求2所述的一种用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵树君，张建，邢洪超，李景双，吴静立，韩皓，王兆岩，杨柳，丁文杰，
申请(专利权)人：辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。