一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，包括以下步骤：通过振动筛分选石英砂作为石英过滤器的基材；通过纯水设备制备出纯水；然后将石英砂与纯水按比例进行混合；将制浆后的石英砂放入模具中进行成型；将定型后的石英砂放置在模具中采用氢氧焰煅烧；焊接组成石英过滤器总成；将石英过滤器总成的石英管段进行加热折弯至要求角度；清洗包装处理，本发明专利技术涉及半导体制备技术领域，通过研制一种高纯度石英过滤器组件，利用该过滤器的孔隙可对通入的气体进行缓释防止湍流的产生，达到提高产品质量的目的，采用半导体级高纯石英砂制备，二氧化硅纯度达到99.999％，不会对产品造成污染，采用高纯度的等离子水与石英砂制浆，避免了杂质污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英过滤器制备，具体为一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法。

技术介绍

1、在半导体制备工艺里，反应容器在注入气体或破除真空环境时，传统做法是直接在容器内通入石英管，然而，这种方式存在明显弊端，气体流速过快会在容器内产生湍流，导致容器内产品质量不稳定。为解决这一问题，急需一种能对气体进行缓释的过滤器组件，以提升产品质量。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，解决了现有直接插入石英管的方式容易使气体流速过快的问题。

2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，包括以下步骤：

3、s1、选用高纯度石英砂，通过振动筛分选石英砂作为石英过滤器的基材；

4、s2、通过纯水设备制备出纯水；

5、s3、根据石英过滤器的尺寸大小将石英砂进行称重，然后将石英砂与纯水按比例进行混合，混合均匀；

6、s4、将制浆后的石英砂放入模具中进行成型，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤S9中清洗与包装的具体步骤为：将测试合格的石英过滤器总成放置在5％～15％的氢氟酸溶液中进行浸泡15～45min，然后用纯水对其进行清洗，干燥，在千级的无尘间对其进行独立封装。

3.根据权利要求2所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤S9中氢氟酸溶液的质量浓度为10％，浸泡时间为30min。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤...

【技术特征摘要】

1.一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤s9中清洗与包装的具体步骤为：将测试合格的石英过滤器总成放置在5％～15％的氢氟酸溶液中进行浸泡15～45min，然后用纯水对其进行清洗，干燥，在千级的无尘间对其进行独立封装。

3.根据权利要求2所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤s9中氢氟酸溶液的质量浓度为10％，浸泡时间为30min。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，其特征在于，步骤s4中烤箱温度为80℃，定型时间为50min。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，赵树君，邢洪超，李景双，吴静立，王兆岩，韩皓，杨柳，丁文杰，
申请(专利权)人：辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司，
类型：发明
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