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本发明公开了一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，包括以下步骤：通过振动筛分选石英砂作为石英过滤器的基材；通过纯水设备制备出纯水；然后将石英砂与纯水按比例进行混合；将制浆后的石英砂放入模具中进行成型；将定型后的石英砂放置在模具中采用氢氧...
该专利属于辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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